[发明专利]一种高精度芯片塑封设备及其使用方法在审
申请号: | 202010290546.0 | 申请日: | 2020-04-14 |
公开(公告)号: | CN111430274A | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 吴东京 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 314000 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高精度 芯片 塑封 设备 及其 使用方法 | ||
本发明公开了一种高精度芯片塑封设备及其使用方法,属于电子设备领域,一种高精度芯片塑封设备及其使用方法,包括工作台、进给输送带、塑封模具和塑封设备等部件,对塑封模具进行抽真空处理,通过进给输送带带动塑封模具在工作台上移动,由塑封设备进行封层塑封,它可以实现在塑封时对引脚进行夹持保护,降低引脚变形的风险,且通过固定引脚来保持塑封时芯片的位置,预防芯片在封装时发生偏移,在塑封时采用定量多层封装,避免芯片单次封装时表面环境变化过大导致芯片破裂失效,在塑封前对塑封模具进行抽真空处理,以防止塑封时出现空洞现象,更能够避免空气中的粉尘对塑封的影响,提高了芯片的可靠性。
技术领域
本发明涉及电子设备领域,更具体地说,涉及一种高精度芯片塑封设备及其使用方法。
背景技术
芯片,又称微电路、微芯片、集成电路。是指内含集成电路的硅片,体积很小,常常是计算机或其他电子设备的一部分。通过光照蚀刻晶片再分层填充的方式制成芯片的裸片,裸片极易因外界环境的影响而受损,一旦裸片受损报废,报废裸片难以回收利用,将会造成较高的经济损失。
芯片的制作过程中,需要把裸片安装在连接有引脚的基板上,再对基板进行封装以后,才算是完成芯片的制作。封装可以起到保护芯片的作用,相当于是芯片的外壳,不仅能固定、密封芯片,还能增强其电热性。经过多年的发展,目前民用的芯片基本都是采用塑封的方式进行封装的,不仅具有良好的防护效果,且性价比较高。
在塑封步骤中,会遇到一些封装问题,该封装问题包括并不限于引脚变形、底座偏移、翘曲、芯片破裂、分层、空洞、不均匀封装、毛边、外来颗粒和不完全固化。一旦出现封装问题,将会影响芯片封装的品质,降低芯片封装的良品率。
发明内容
1.要解决的技术问题
针对现有技术中存在的问题,本发明的目的在于提供一种高精度芯片塑封设备及其使用方法,它可以实现在塑封时对引脚进行夹持保护,降低引脚变形的风险,且通过固定引脚来保持塑封时芯片的位置,预防芯片在封装时发生偏移,在塑封时采用定量多层封装,避免芯片单次封装时表面环境变化过大导致芯片破裂失效,在塑封前对塑封模具进行抽真空处理,以防止塑封时出现空洞现象,更能够避免空气中的粉尘对塑封的影响,提高了芯片的可靠性。
2.技术方案
为解决上述问题,本发明采用如下的技术方案。
一种高精度芯片塑封设备及其使用方法,包括工作台,作为塑封作业的平面载体,所述工作台的上方安装有进给输送带,所述进给输送带的轮带上分布有多组位移插杆,所述工作台上放置有塑封模具,所述塑封模具包括塑封上模和塑封下模,所述塑封上模上开凿有多个位移插孔,且位移插孔与位移插杆吻合,所述进给输送带通过移动位移插杆驱动塑封模具在工作台上移动,所述工作台的上方设有塑封设备,所述塑封设备包括塑封头,所述塑封头的输入端连接有计量泵,通过该计量泵将塑封原料定量的注入塑封模具中,所述工作台上固定安装有导轨,且导轨上放置塑封模具的塑封下模,限制塑封模具的位移轨迹,所述进给输送带的输送末端安装有机械手和下料箱,用于取出塑封后的芯片,可以实现在塑封时对引脚进行夹持保护,降低引脚变形的风险,且通过固定引脚来保持塑封时芯片的位置,预防芯片在封装时发生偏移,在塑封时采用定量多层封装,避免芯片单次封装时表面环境变化过大导致芯片破裂失效,在塑封前对塑封模具进行抽真空处理,以防止塑封时出现空洞现象,更能够避免空气中的粉尘对塑封的影响,提高了芯片的可靠性。
进一步的,所述塑封上模上开凿有抽注孔,用于对塑封模具进行抽真空处理,和向塑封模具内注入塑封原料,一孔多用,提高塑封模具的气密性。
进一步的,所述进给输送带的下轮带上方安装有多个张紧辊,避免进给输送带驱动塑封模具移动时,位移插杆脱离位移插孔。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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