[发明专利]一种单硅晶棒切磨一体机

权利要求书

1.一种单硅晶棒切磨一体机，其特征在于，所述切磨一体机包括夹持工装、切割运行机构和磨抛机构；

所述夹持工装用于夹紧待切磨的硅晶棒料；

所述切割运行机构包括机架、环形线锯切割单元和升降单元，所述环形线锯切割单元可滑动的固定于机架上，且环形线锯切割单元位于夹持工装上方，所述升降单元用于带动环形线锯切割单元抬升或者下降，以对单硅晶棒开方；

所述磨抛机构可滑动的设置于机架的侧壁上，磨抛机构包括磨抛组件和水平滑动组件，所述磨抛组件包括磨抛电机、传动件和磨头，所述磨抛电机通过传动件与磨头连接，所述磨抛组件设置于水平滑动组件上，水平滑动组件用于带动磨头抵靠或者远离开方后的硅晶方料。

2.根据权利要求1所述的单硅晶棒切磨一体机，其特征在于，所述切磨一体机还包括磨抛安装架，所述磨抛机构设置于磨抛安装架上，所述磨抛安装架可滑动的设置于机架内侧壁上。

3.根据权利要求2所述的单硅晶棒切磨一体机，其特征在于，所述机架的内侧壁上设置有竖直滑轨，所述磨抛安装架通过竖直滑块固定于竖直滑轨上。

4.根据权利要求2所述的单硅晶棒切磨一体机，其特征在于，所述环形线锯切割单元和磨抛机构均与同一升降单元连接，升降单元同时带动环形线锯切割单元和磨抛机构上升或者下降。

5.根据权利要求1所述的单硅晶棒切磨一体机，其特征在于，所述夹持工装包括上夹持机构和下夹持机构；

所述上夹持机构包括第一伸缩件、第一旋转电机、压头和边料上顶紧单元，所述第一伸缩件的伸缩端与第一旋转电机连接，所述第一旋转电机与压头传动连接，所述上边料顶紧单元包括第二伸缩件和顶紧块，所述顶紧块固定于第二伸缩件的伸缩端上；

所述下夹持机构包括第二旋转电机、工装台和边料下顶紧单元，所述第二旋转电机与工装台传动连接，所述边料下顶紧单元包括第三伸缩件和至少两根顶杆，所述顶杆均匀固定于第三伸缩件的伸缩端上；

所述上夹持机构和下夹持机构相对设置，待加工棒料夹持于压头和工装台之间。

6.根据权利要求5所述的棒料夹持工装，其特征在于，所述下夹持机构还包括边皮夹持单元，所述边皮夹持单元包括夹持安装座和至少两组相对设置的夹持组件，所述夹持组件包括第四伸缩杆、连杆和夹爪，所述夹持安装座套设于工装台外，所述连杆铰接固定于夹持安装座上，连杆的两端分别连接第四伸缩件的伸缩端和夹爪，第四伸缩件通过连杆带动夹爪抵靠或远离待加工棒料的侧壁。

7.根据权利要求1所述的棒料夹持工装，其特征在于，所述切磨一体机还包括转运装置，所述转运装置包括回转换向机构、圆棒夹持机构、边料夹持机构和方料夹持机构；

所述回转换向机构包括转向驱动机构和回转座；

所述圆棒夹持机构、边料夹持机构和方料夹持机构分别固定于回转座的不同侧壁上，圆棒夹持机构用于夹持待加工的单晶硅棒，边料夹持机构用于夹持单晶硅棒开方后切割出的边料，方料夹持机构用于夹持单晶硅棒开方后的方棒；

所述转向驱动机构用于驱动回转座转向运动，以带动圆棒夹持机构、边料夹持机构和方料夹持机构位置转换。

8.根据权利要求7所述的棒料夹持工装，其特征在于，所述切磨一体机还包括滑动机构，所述回转换向机构设置于滑动机构上，用于带动回转换向机构沿预设路径运动。

9.根据权利要求8所述的棒料夹持工装，其特征在于，所述切磨一体机还包括晶线定向机构，所述晶线定向机构设置于转运装置的一侧，所述晶线定向机构包括底座、回转工作台和检测元件，所述回转工作台和检测元件均设置于底座上，检测单元位于回转工作台的一侧，用于确定单硅晶棒的晶线。

10.根据权利要求1所述的棒料夹持工装，其特征在于，所述环形线锯切割单元包括线锯切割组件和联动架，所述线锯切割组件与联动架固定，线锯切割组件包括主驱动组件、张紧组件和环形切割线，所述主驱动组件包括主驱动电机和主驱动轮，所述主驱动轮与主驱动电机传动连接，所述张紧组件包括张紧轮、张紧主轴、张紧轴承座、摆臂、摆臂转轴、摆臂轴承座、张力臂和张紧电机，所述张紧轮套设于张紧轴承座的侧壁上，所述张紧轴承座套设于张紧主轴外，所述摆臂一端与张紧主轴固定，另一端与摆臂转轴固定，所述摆臂轴承座套设于摆臂转轴外，所述张紧电机通过张力臂与摆臂转轴连接，所述环形切割线布设于主驱动轮和张紧轮的线槽中；

所述升降单元与联动架传动连接，所述升降机构用于驱动环形线锯切割单元抬升或者下降。