[发明专利]一种掩膜板及其制备方法和采用其的蒸镀方法

说明书

本发明提供一种掩膜板及其制备方法和采用其的蒸镀方法。该掩膜板包括框架和掩膜网，框架包括边框和连接边框的至少一个支架，支架将边框围设形成的区域分隔为至少两个张网区；掩膜网包括至少两个，各掩膜网分别对应张网于各张网区，且掩膜网的四周边缘均分别与围设形成张网区的框架固定连接。该掩膜板，通过支架将边框围设形成的区域分隔为至少两个张网区，能够使掩膜板张网区域的面积缩小，从而减小了掩膜网在张网过程中发生褶皱的风险，且能够实现掩膜网的四边张网，四边张网能够大大改善掩膜网由于重力过大而发生下垂的现象，提升采用该掩膜板的蒸镀精度，从而改善阴影效应和混色风险，提高采用该掩膜板的蒸镀质量。

技术领域

本发明属于显示技术领域，具体涉及一种掩膜板及其制备方法和采用其的蒸镀方法。

背景技术

有机电激发光器件(OLED，OrganicLight-Emitting Diode)由于自主发光、色域广、响应快、面板薄、可弯曲、耐低温等独有的优异特性，已经广泛应用于手机，车载显示，相机等中小尺寸面板显示，大有取代传统的液晶显示器的趋势，成为公认的下一代屏幕显示技术。

OLED中的有机发光功能层大都采用高真空蒸镀技术，原理是用精细金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)遮挡在玻璃基板下面，然后加热有机材料使其挥发，挥发的有机材料透过掩膜板上的精细开孔沉积到玻璃基板的相应位置上。因此，为了实现高精度下的显示效果，就需要提高金属掩膜板的精度。但是，随着显示面板尺寸的增加，掩膜板的下垂量增大，在张网过程中更易发生褶皱，精度难以控制导致张网合格率下降，且蒸镀过程中阴影效应也会加剧。这些不良现象成为了大尺寸OLED显示器发展过程中的重要瓶颈。

发明内容

本发明针对大尺寸显示面板蒸镀中掩膜板下垂量大，且掩膜板在张网过程中更容易发生褶皱的问题，提供一种掩膜板及其制备方法和采用其的蒸镀方法。该掩膜板能够使掩膜板张网区域的面积缩小，从而减小了掩膜网在张网过程中发生褶皱的风险，且能够实现掩膜网的四边张网，四边张网能够大大改善掩膜网由于重力过大而发生下垂的现象，提升采用该掩膜板的蒸镀精度。

本发明提供一种掩膜板，包括框架和掩膜网，所述框架包括边框和连接所述边框的至少一个支架，所述支架将所述边框围设形成的区域分隔为至少两个张网区；所述掩膜网包括至少两个，各所述掩膜网分别对应张网于各所述张网区，且所述掩膜网的四周边缘均分别与围设形成所述张网区的所述框架固定连接。

可选地，所述支架包括两个以上，所述支架为条状，所述支架沿第一方向平行等间隔排布，以将所述边框围设形成的区域分隔为多个面积相等的所述张网区。

可选地，所述张网区与所述支架的沿所述第一方向的宽度相等。

可选地，所述边框围设形成的区域形状包括矩形，所述第一方向为所述矩形一边的延伸方向，所述支架的长度方向垂直于所述第一方向；

所述张网区的形状和大小与所述支架的位于所述边框围设形成的区域内的部分的形状和大小相同。

可选地，所述掩膜网的四周各边缘上均分别设置有一个第一对位标记，围设形成所述张网区的所述框架的各边上均分别设置有一个第二对位标记；

所述第一对位标记和所述第二对位标记位置相对应且重合。

本发明还提供一种上述掩膜板的制备方法，包括：张网夹具分别夹持各掩膜网的四周边缘，将其张网于各张网区；

将所述掩膜网的四周边缘分别与围设形成所述张网区的框架固定连接。

本发明还提供一种采用上述掩膜板的蒸镀方法，包括：将所述掩膜板与待镀基板进行对位，对位完成后进行一次蒸镀，完成所述待镀基板上部分区域的蒸镀；

对所述待镀基板或者所述掩膜板进行位置移动，将所述掩膜板与待镀基板进行再次对位，对位完成后进行再次蒸镀，循环执行该步骤直至完成所述待镀基板的蒸镀。