[发明专利]保持面形成方法

权利要求书

1.一种保持面形成方法，在磨削装置中利用磨削磨具对保持面进行磨削而形成保持面，关于该磨削装置，以呈环状配置有该磨削磨具的磨削磨轮的中心为轴使该磨削磨轮旋转，以对被加工物进行吸引保持的卡盘工作台的该保持面的中心为轴使该卡盘工作台旋转，利用该磨削磨具对保持在该保持面上的被加工物进行磨削，其特征在于，

该保持面形成方法具有如下的工序：

第1保持面形成工序，将通过该磨削磨轮的中心的作为使该磨削磨轮旋转时的轴的第1旋转轴与通过该保持面的中心的作为使该卡盘工作台旋转时的轴的第2旋转轴按照规定的角度的第1倾斜关系配置，将该磨削磨具定位于通过该保持面的中心的位置而对该保持面进行磨削，至少在该保持面中央形成圆形的第1面；以及

第2保持面形成工序，将该第1旋转轴与该第2旋转轴按照以比该第1倾斜关系大的角度倾斜的第2倾斜关系配置，利用该磨削磨具对该保持面的外周部分进行磨削，在该保持面中央保留圆形的该第1面，形成连接该第1面的作为圆锥台的侧面形状的圆环形状的第2面，

在不同的倾斜关系下，利用该磨削磨具对该保持面至少磨削2次而形成保持面。

2.根据权利要求1所述的保持面形成方法，其中，

在该第1保持面形成工序中，将该第1旋转轴与该第2旋转轴平行地配置，形成作为平坦面的该第1面。

3.根据权利要求1所述的保持面形成方法，其中，

在该第1保持面形成工序中，按照该第1倾斜关系形成以该保持面中心为顶点的圆锥面的该第1面。