[发明专利]保持面形成方法

说明书

提供保持面形成方法，使用磨削磨具对保持面(500)进行磨削而形成保持面，该方法具有：第1保持面形成工序，使卡盘工作台(5)倾斜，按照使作为磨削磨轮(34)的旋转轴的第1旋转轴与作为卡盘工作台的旋转轴的第2旋转轴形成规定大小的角(θ3)的方式进行调节，将两轴间的倾斜关系设为第1倾斜关系而对保持面进行磨削，形成具有圆锥面的形状的第1面(50C)；第2保持面形成工序，在第1保持面形成工序之后，按照使两轴所成的角成为比第1倾斜关系中的两轴间的角大的角(θ4)的方式使卡盘工作台进一步倾斜，将两轴间的倾斜关系设为第2倾斜关系而再次磨削保持面，形成具有与第1面的外周相连的圆锥台的侧面形状的第2面(50D)。

技术领域

本发明涉及保持面形成方法。

背景技术

对晶片进行磨削的磨削装置具有保持晶片的保持工作台和配设有对保持在保持工作台上的晶片进行磨削的磨削磨具的磨削单元。

在磨削装置中，在进行了磨削磨轮或保持工作台的更换等之后，为了使保持工作台的保持面与磨削磨具的磨削面平行而实施利用磨削磨具对保持面进行磨削的自研磨(例如，参照下述专利文献1)。

专利文献1：日本特开2014-237210号公报

上述自研磨使磨削磨轮的旋转轴相对于保持工作台的旋转轴稍微倾斜，使磨削磨具以通过保持工作台的保持面的中心的方式与保持面接触而进行保持面的磨削，将保持工作台的保持面形成为圆锥面。在晶片较厚的情况下，当在保持面上保持晶片时，无法依照保持面的圆锥面形状从而导致在保持面的圆锥面的顶点附近与晶片的下表面的中央之间产生间隙，因此若在该状态下进行晶片的磨削，则存在晶片的中央被磨削过度而变薄的问题。

在使磨轮旋转而对旋转的被加工物进给磨削的磨削装置中，存在如下待解决的课题：防止被加工物的中央变薄从而精加工成平坦的晶片。

发明内容

本发明的目的在于提供保持面形成方法，使被加工物与保持面之间不产生间隙，防止被加工物的中央变薄从而精加工成平坦的晶片。

根据本发明的保持面形成方法，在磨削装置中利用磨削磨具对保持面进行磨削而形成保持面，关于该磨削装置，以呈环状配置有该磨削磨具的磨削磨轮的中心为轴使该磨削磨轮旋转，以对被加工物进行吸引保持的卡盘工作台的该保持面的中心为轴使该卡盘工作台旋转，利用该磨削磨具对保持在该保持面上的被加工物进行磨削，其特征在于，该保持面形成方法具有如下的工序：第1保持面形成工序，将通过该磨削磨轮的中心的作为使该磨削磨轮旋转时的轴的第1旋转轴与通过该保持面的中心的作为使该卡盘工作台旋转时的轴的第2旋转轴按照规定的角度的第1倾斜关系配置，将该磨削磨具定位于通过该保持面的中心的位置而对该保持面进行磨削，至少在该保持面中央形成圆形的第1面；以及第2保持面形成工序，将该第1旋转轴与该第2旋转轴按照以比该第1倾斜关系大的角度倾斜的第2倾斜关系配置，利用该磨削磨具对该保持面的外周部分进行磨削，在该保持面中央保留圆形的该第1面，形成连接该第1面的作为圆锥台的侧面形状的圆环形状的第2面，在不同的倾斜关系下，利用该磨削磨具对该保持面至少磨削2次而形成保持面。

在本发明所具有的该第1保持面形成工序中，优选将该第1旋转轴与该第2旋转轴平行地配置，形成作为平坦面的该第1面。

在本发明所具有该第1保持面形成工序中，优选按照该第1倾斜关系形成以该保持面中心为顶点的圆锥面的该第1面。

在本发明中，在将被加工物保持于保持面时，为了消除形成于保持面的中心附近的保持面与被加工物之间的间隙，实施2次磨削加工而形成第1面和第2面。因此，由于不施加成为在保持面的中心使被加工物变形的原因的力，所以在保持面与被加工物之间不会产生间隙，能够解决保持面的中央部分的被加工物被磨削过度而变薄的问题。

由此，以往将的硅晶片精加工成200nm～300nm以内的厚度差是极限，但在本发明中，能够精加工成100nm以内厚度差。