[发明专利]一种模块化安装的跨洁净级别保护装置在审
申请号: | 202010295335.6 | 申请日: | 2020-04-15 |
公开(公告)号: | CN111485739A | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 张津京;衡卫东 | 申请(专利权)人: | 江苏超净电子系统工程有限公司 |
主分类号: | E04H5/02 | 分类号: | E04H5/02;F24F3/16;F24F7/00;F24F11/89 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 封睿 |
地址: | 210000 江苏省南京市玄武*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 模块化 安装 洁净 级别 保护装置 | ||
1.一种模块化安装的跨洁净级别保护装置,其特征在于,包括送风箱体(1-1)、第一围合板(2-1)、第二围合板(3-1)、第三围合板(4-1),其中:
所述送风箱体(1-1)为空腔结构,在空腔结构内自上而下设置送风连接风管(1-2)、过滤箱体(1-3)、均流层(1-5),所述送风连接风管一端连接高级别洁净区的送风管,另一端连接过滤箱体(1-3),用于将高级别洁净区的送风输至保护装置;
在送风箱体(1-1)底部设置第一围合板(2-1)、第二围合板(3-1)、第三围合板(4-1),所述第一围合板(2-1)、第二围合板(3-1)、第三围合板(4-1)拼接成三面U型,与高级别洁净区的洁净板、送风箱体(1-1)的底部以及地面围合成保护空间,高级别洁净区的送风经过滤、均流后垂直进入保护空间;
在保护空间的围合板上设置插板泄压阀,用于保证空间内的压力位于高级别洁净区与低级别洁净区的压力之间,在保护空间内部倾斜设置滑道(2-4),滑道(2-4)的高、低端分别通过进口鼠洞(2-2)、出口鼠洞(2-3)与高级别洁净区、低级别洁净区连通,用于实现产品在两个洁净区之间的传递。
2.根据权利要求1所述的模块化安装的跨洁净级别保护装置,其特征在于,所述送风箱体(1-1)内部设置减震装置(1-4),用于减小过滤箱体(1-3)工作时的震动。
3.根据权利要求1所述的模块化安装的跨洁净级别保护装置,其特征在于,所述第一围合板(2-1)、第二围合板(3-1)、第三围合板(4-1)上设置可视结构,用于目视装置内部状态及产品传递状态。
4.根据权利要求1所述的模块化安装的跨洁净级别保护装置,其特征在于,所述第二围合板(3-1)和/或第三围合板(4-1)通过铰链、磁碰和碰珠与高级别洁净区的洁净板与连接,用于方便保护装置内部设备的检修,并且不影响高级别区域环境状态。
5.根据权利要求1或4所述的模块化安装的跨洁净级别保护装置,其特征在于,所述第二围合板(3-1)和/或第三围合板(4-1)上设置门把手,用于方便围合板的开合。
6.根据权利要求1所述的模块化安装的跨洁净级别保护装置,其特征在于,所述滑道(2-4)两端设置位置调节门及收口装置,用于在不用于产品传输时封闭鼠洞,在工作时调整通过尺寸,控制压力,减小环境破坏的风险。
7.根据权利要求1所述的模块化安装的跨洁净级别保护装置,其特征在于,所述送风箱体(1-1)、第一围合板(2-1)、第二围合板(3-1)、第三围合板(4-1)上设置预制孔,通过预制孔位用螺栓实现相互之间的紧固连接。
8.根据权利要求1所述的模块化安装的跨洁净级别保护装置,其特征在于,所述保护装置还包括可调式底座结构(5-1),与洁净区装修洁净板安装底座结构统一,用于实现围合板与洁净板及地面的无缝衔接。
9.根据权利要求1所述的模块化安装的跨洁净级别保护装置,其特征在于,所述保护装置还包括压差计(6--1),其正极接至高级别洁净区,负级接至保护装置内,用于显示高级别洁净区与保护装置内部的压力差。
10.根据权利要求1所述的模块化安装的跨洁净级别保护装置,其特征在于,所述保护装置的组件为不锈钢,玻璃,塑料,或有耐腐蚀喷涂面层的其他材质。
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