[发明专利]显影设备

权利要求书

1.一种显影设备，用于基板的显影制程，其特征在于，所述显影设备包括用于固定所述基板的至少一个支撑块；所述支撑块包括一第一平面，以及依次平滑连接的一第一凹形曲面、一尖端及一第二凹形曲面；

所述尖端包括依次平滑连接的一第一面、一接触面及一第二面；其中，所述第一面与所述第一凹形曲面平滑连接，所述接触面用于接触所述基板的一侧壁，所述第二面与所述第二凹形曲面平滑连接；并且，所述第一面及所述第二面任意位置上的切面在沿所述基板的所述侧壁延伸方向上的斜率的绝对值大于1；

在所述第一凹形曲面自所述尖端延伸至所述第一平面的过程中，所述第一凹形曲面的曲率逐渐减小；以及，在所述第二凹形曲面自所述尖端延伸至所述第一平面的过程中，所述第二凹形曲面的曲率逐渐减小；

其中，所述支撑块置于一水平面上，所述基板相对于水平面倾斜，且所述基板远离所述支撑块的一端高出所述水平面的距离大于所述基板靠近所述支撑块的一端高出所述水平面的距离。

2.如权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述尖端为弹性材料结构件。

3.如权利要求2所述的显影设备，其特征在于，所述尖端在自然状态下，所述尖端的所述接触面趋近于一直线；以及所述尖端发生弹性形变时，所述尖端的所述接触面趋近于一平面。

4.如权利要求2所述的显影设备，其特征在于，所述第一面与所述第二面中的至少一者的外表面为无数条抛物线构成的凹形曲面。

5.如权利要求2所述的显影设备，其特征在于，所述第一面与所述第二面中的至少一者的外表面为无数条双曲线构成的凹形曲面。

6.如权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述第一凹形曲面与所述第二凹形曲面中的至少一者的外表面为无数条最速曲线构成的平滑凹形曲面。

7.如权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述第一凹形曲面与所述第二凹形曲面中的至少一者的外表面为无数条双曲线构成的平滑凹形曲面。

8.如权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述第一凹形曲面、所述尖端、所述第二凹形曲面及所述第一平面为一体式结构件；以及，所述尖端的所述第一面、所述接触面及所述第二面为一体式结构件。

9.如权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述尖端的所述第一面与所述尖端的所述第二面背向对称设置；所述第一凹形曲面与所述第二凹形曲面背向对称设置。

10.如权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述支撑块与所述基板相抵接时，所述支撑块的所述第一平面与所述基板的侧壁延伸方向平行设置。