[发明专利]一种低羟基高纯石英棒材/管材及其制备方法

权利要求书

1.一种低羟基高纯石英棒材/管材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1.将石英粉配置成浆料，加入成型剂，抽真空搅拌以去除气泡；

S2.将配置好的浆料加压注入不锈钢模具中，浇注的同时增加震动，浇注完成后静置；

S3.将浇注好的不锈钢模具放置于60-100℃的条件下保温4-8小时，接着脱模得到坯料；

S4.将坯料在湿度≥70％的环境下自然干燥12-24小时，然后于干燥窑中继续加热干燥24-48小时；

S5.将干燥后的坯料竖直放置于真空烧结炉中进行玻璃化处理，得到透明石英棒/管坯料；

S6.在所述透明石英棒/管坯料的两端分别焊接石英手柄和尾柄，将所述石英手柄悬挂在中频炉顶部，底部由所述石英尾柄支撑，使石英棒/管坯料置于中频炉加热区域；

S7.加热使坯料底部开始逐步软化形变，控制所述石英尾柄下降的速度，调整拉制的直径，得到所述低羟基高纯石英棒材/管材。

2.根据权利要求1所述的一种低羟基高纯石英棒材/管材的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述石英粉的粒度为1-300μm。

3.根据权利要求1所述的一种低羟基高纯石英棒材/管材的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述浆料的配置方法为：按照料：水＝10：3～5的比例，将石英粉与去离子水混合，搅拌，得到所述浆料。

4.根据权利要求1所述的一种低羟基高纯石英棒材/管材的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述成型剂为丙烯酰胺成型剂，在30-45℃环境下抽真空搅拌。

5.根据权利要求1所述的一种低羟基高纯石英棒材/管材的制备方法，其特征在于，步骤S2中，所述震动的频率为10-60次/min，振幅为1-5mm。

6.根据权利要求1所述的一种低羟基高纯石英棒材/管材的制备方法，其特征在于，步骤S2中，所述静置的时间为30min。

7.根据权利要求1所述的一种低羟基高纯石英棒材/管材的制备方法，其特征在于，步骤S5中，玻璃化处理的制度为：烧成温度为1400-1500℃，玻璃化时间为24-48小时。

8.如权利要求1所述的一种低羟基高纯石英棒材/管材的制备方法，其特征在于，步骤S7中，将所述中频炉先升温至1100-1200℃，保温60-120min；再加热至1800-2000℃。

9.根据权利要求1-8任一项所述的方法制备的低羟基高纯石英棒材/管材。

10.根据权利要求9所述的低羟基高纯石英棒材/管材，其特征在于，所述石英棒材/管材的羟基含量≤10ppm。