[发明专利]搬运系统在审
申请号: | 202010310506.8 | 申请日: | 2020-04-20 |
公开(公告)号: | CN111834269A | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 关家一马 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 乔婉;于靖帅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 搬运 系统 | ||
1.一种搬运系统,其对多个加工装置分别搬运被加工物,其特征在于,
该搬运系统包含:
搬运通路,其在多个该加工装置的整个范围内设置于该加工装置的正上方的空间;
无人搬运车,其在该搬运通路上行驶,具有收纳部、行驶部、行驶机构、升降机构以及接收机,其中,该收纳部具有对该被加工物进行收纳的收纳空间,该行驶部具有对该收纳部进行储存的储存空间,该行驶机构设置于该行驶部,该升降机构配设于该行驶部,从上方悬吊该收纳部而使该收纳部升降,该无人搬运车的该接收机接收控制信号;
贮存单元,其具有收纳部保持台和接收机,其中,该收纳部保持台在从收纳有该被加工物的被加工物贮存器向该无人搬运车的该收纳部交接该被加工物时对该收纳部进行保持,该贮存单元的该接收机接收控制信号;以及
控制单元,其具有发送机、接收机以及控制信号生成部,其中,该发送机对该加工装置、该无人搬运车以及该贮存单元发送控制信号,该控制单元的该接收机接收从该加工装置发送的通知信号,该控制信号生成部生成从该发送机发送的控制信号,
该控制单元的该控制信号生成部根据该控制单元的该接收机所接收的通知信号而生成从该控制单元的该发送机发送的控制信号,
该控制单元的该发送机将该控制单元的该控制信号生成部所生成的控制信号发送至该加工装置、该无人搬运车以及该贮存单元,
该无人搬运车根据该无人搬运车的该接收机所接收的控制信号,在将该收纳部储存于该储存空间的状态下在该搬运通路上行驶,当在该搬运通路的相当于该加工装置的上方的第1停车区域或该搬运通路的相当于该贮存单元的上方的第2停车区域停车时,使该收纳部升降而在该第1停车区域与该加工装置的内部之间或在该第2停车区域与该贮存单元的该收纳部保持台之间搬运该收纳部。
2.根据权利要求1所述的搬运系统,其特征在于,
该搬运通路设置于该加工装置的上表面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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