[发明专利]搬运系统

说明书

提供搬运系统，其构建容易。搬运系统对多个加工装置分别搬运被加工物，其包含：搬运通路，其在多个加工装置的整个范围内设置于加工装置的正上方的空间；无人搬运车，其在搬运通路上行驶，具有收纳部、行驶部、行驶机构、升降机构以及接收机(其接收控制信号)，其中，收纳部具有对被加工物进行收纳的收纳空间，行驶部具有对收纳部进行储存的储存空间，行驶机构设置于行驶部，升降机构配置于行驶部，从上方悬吊收纳部而使其升降，接收机接收控制信号；贮存单元，其具有在从收纳有被加工物的被加工物贮存器向无人搬运车的收纳部交接被加工物时对收纳部进行保持的收纳部保持台以及接收控制信号的接收机。

技术领域

本发明涉及搬运系统，其对加工装置搬运被加工物。

背景技术

在组装于电子设备等的器件芯片的制造工序中，通过各种加工装置对半导体晶片或树脂封装基板为代表的板状的被加工物进行加工。在对该加工装置搬运被加工物时，通常使用能够收纳多个被加工物的搬运用的盒。

但是，在将多个被加工物收纳在盒中而一次搬运至加工装置的上述方法中，当由于某些原因而使加工装置停止时，会使收纳在盒中的未加工的被加工物一律待机。即，也无法利用其他加工装置对未加工的被加工物进行加工，因此加工的效率大幅降低。

要想克服该问题，例如只要根据加工装置的运转状况而将被加工物一张一张地搬运至加工装置即可。因此，提出了如下的搬运系统：通过搬运用的路径来连接多个加工装置，从而能够在任意的时机对各加工装置搬运被加工物(例如参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开平6-177244号公报

但是，在各加工装置的侧面设置有连接配管的配管连接部或维护用的门等，在构建上述的搬运系统时，需要按照不与它们发生干涉的方式设计搬运用的路径。因此，搬运系统的构建未必容易，并且搬运用的路径也容易变长。

发明内容

本发明是鉴于该问题点而完成的，其目的在于提供搬运系统，其能够对多个加工装置分别搬运被加工物，并且容易构建。

根据本发明的一个方式，提供搬运系统，其对多个加工装置分别搬运被加工物，其中，该搬运系统包含：搬运通路，其在多个该加工装置的整个范围内设置于该加工装置的正上方的空间；无人搬运车，其在该搬运通路上行驶，具有收纳部、行驶部、行驶机构、升降机构以及接收机，其中，该收纳部具有对该被加工物进行收纳的收纳空间，该行驶部具有对该收纳部进行储存的储存空间，该行驶机构设置于该行驶部，该升降机构配设于该行驶部，从上方悬吊该收纳部而使该收纳部升降，该无人搬运车的该接收机接收控制信号；

贮存单元，其具有收纳部保持台和接收机，其中，该收纳部保持台在从收纳有该被加工物的被加工物贮存器向该无人搬运车的该收纳部交接该被加工物时对该收纳部进行保持，该贮存单元的该接收机接收控制信号；以及

控制单元，其具有发送机、接收机以及控制信号生成部，其中，该发送机对该加工装置、该无人搬运车以及该贮存单元发送控制信号，该控制单元的该接收机接收从该加工装置发送的通知信号，该控制信号生成部生成从该发送机发送的控制信号，该控制单元的该控制信号生成部根据该控制单元的该接收机所接收的通知信号而生成从该控制单元的该发送机发送的控制信号，该控制单元的该发送机将该控制单元的该控制信号生成部所生成的控制信号发送至该加工装置、该无人搬运车以及该贮存单元，该无人搬运车根据该无人搬运车的该接收机所接收的控制信号，在将该收纳部储存于该储存空间的状态下在该搬运通路上行驶，当在该搬运通路的相当于该加工装置的上方的第1停车区域或该搬运通路的相当于该贮存单元的上方的第2停车区域停车时，使该收纳部升降而在该第1停车区域与该加工装置的内部之间或在该第2停车区域与该贮存单元的该收纳部保持台之间搬运该收纳部。

在该搬运系统中，优选该搬运通路设置于该加工装置的上表面。