[发明专利]一种超快电流探测装置及脉冲测试系统有效

专利信息
申请号: 202010313928.0 申请日: 2020-04-20
公开(公告)号: CN111487452B 公开(公告)日: 2022-07-01
发明(设计)人: 王娟娟;曾传滨;倪涛;孙佳星;罗家俊;韩郑生;王玉娟;张煦 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G01R19/00 分类号: G01R19/00;G01R29/02;G01R1/30
代理公司: 北京华沛德权律师事务所 11302 代理人: 房德权
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 电流 探测 装置 脉冲 测试 系统
【权利要求书】:

1.一种超快电流探测装置,应用于脉冲测试系统中,其特征在于,包括:

输入同轴连接器、输出同轴连接器、探测同轴连接器以及阻抗匹配电路,所述阻抗匹配电路为π型结构或T型结构;

所述阻抗匹配电路的第一端通过所述输入同轴连接器连接脉冲发生装置,所述阻抗匹配电路的第二端通过所述输出同轴连接器经传输线连接被测装置,且所述第二端通过所述输出同轴连接器经所述传输线还连接探测接收装置的第一采集端,所述阻抗匹配电路的第三端通过所述探测同轴连接器连接所述探测接收装置的第二采集端;

所述阻抗匹配电路的输入阻抗、所述阻抗匹配电路的输出阻抗、所述脉冲发生装置的输出阻抗、所述探测接收装置的所述第一采集端的第一阻抗以及所述第二采集端的第二阻抗,均与所述脉冲测试系统的特征阻抗相等,所述输入阻抗为所述阻抗匹配电路的阻抗、所述第一阻抗、所述第二阻抗的第一合成阻抗,所述阻抗匹配电路的输出阻抗为所述阻抗匹配电路的阻抗、所述第一阻抗、所述脉冲发生装置的输出阻抗的第二合成阻抗;

在所述阻抗匹配电路为π型结构时,所述π型结构的的阻抗匹配电路包括:第一电阻、第二电阻以及第三电阻,所述π型结构的阻抗匹配电路的输入阻抗RIN1

RIN1=(RCH2//(RCH1+R3)+R2)//R1=RS

所述π型结构的阻抗匹配电路的输出阻抗ROUT1

ROUT1=(RS//R1+R2)//(R3+RCH1)=RCH2

RCH1和RCH2分别为所述探测接收装置的第一采集端的第一阻抗和第二采集端的第二阻抗,R1为所述第一电阻,R2为所述第二电阻,R3为所述第三电阻,Rs为所述脉冲发生装置的输出阻抗;

在所述阻抗匹配电路为T型结构时,所述T型结构的阻抗匹配电路包括:第四电阻、第五电阻以及第六电阻,所述T型结构的阻抗匹配电路的输入阻抗RIN2

RIN2=(RCH2+R5)//(R6+RCH1)+R4=R0

所述T型结构的阻抗匹配电路的输出阻抗ROUT2

ROUT2=(RS+R4)//(R6+RCH1)+R5=R0

R4为所述第四电阻,R5为所述第五电阻,R6为所述第六电阻,R0为所述脉冲测试系统的特征阻抗。

2.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述阻抗匹配电路包括第一电阻、第二电阻以及第三电阻时,所述第一电阻的一端连接所述第二电阻的一端并作为所述阻抗匹配电路的第一端,所述第三电阻的一端连接所述第二电阻的另一端并作为所述阻抗匹配电路的第二端,所述第一电阻的另一端接地,所述第三电阻的另一端作为所述阻抗匹配电路的第三端。

3.如权利要求2所述的装置,其特征在于,所述第一电阻、所述第二电阻、所述第三电阻的阻值分配如下:

R3=R1-R0

其中,R1为所述第一电阻,R2为所述第二电阻,R3为所述第三电阻,R0为所述特征阻抗,A1为所述超快电流探测装置的第一衰减倍数,即所述第一端的第一电压值与所述第二端的第二电压值的第一比值。

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