[发明专利]一种超快电流探测装置及脉冲测试系统

说明书

本发明涉及高频电流探测技术领域，尤其涉及一种超快电流探测装置及脉冲测试系统，该装置包括：输入、输出、探测同轴连接器、阻抗匹配电路；阻抗匹配电路包括三端，第一端通过输入同轴连接器连接脉冲发生装置，第二端通过输出同轴连接器经传输线连接被测装置，且第二端通过输出同轴连接器经传输线连接探测接收装置的第一采集端，第三端通过该探测同轴连接器连接探测接收装置的第二采集端，该阻抗匹配电路的输入阻抗与阻抗匹配电路的输出阻抗、该脉冲发生装置的输出阻抗、该探测接收装置的第一采集端的第一阻抗以及第二采集端的第二阻抗，均与该脉冲测试系统的特征阻抗相等，可精确探测经过该超快电流探测装置的脉冲信号。

技术领域

本发明涉及高频电流探测技术领域，尤其涉及一种超快电流探测装置。

背景技术

传输线脉冲发生器(TLP)用于测量器件在承受静电脉冲过程中的IV曲线，为静电放电(ESD)防护全局保护结构提供所需的仿真参数，大多ESD防护都会采用该传输线脉冲发生器。

现有TLP系统的电流探测系统常由感应式电流探头和示波器组成，具体地，该TLP系统中有传输段传输线，在进行电流探测时，将电流探头直接插接于该传输线的芯线上，使得传输线芯线穿过该电流探头，在电流流经探头时，在探头上产生一个感应电压，由示波器通过探测到的感应电压推算出流经的电流大小。但是，上述的操作需要将传输线剥开，让传输线芯线穿过电流探头，导致探测系统失配，从而影响电流的探测。而且由于电流探头的带宽限制，致使其无法精确探测上升沿小于200ps的电流脉冲。

因此，如何提高电流探测的准确性是目前亟待解决的技术问题。

发明内容

鉴于上述问题，提出了本发明以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的超快电流探测装置。

第一方面，本发明提供了一种超快电流探测装置，应用于脉冲测试系统中，包括：

输入同轴连接器、输出同轴连接器、探测同轴连接器以及阻抗匹配电路；

所述阻抗匹配电路的第一端通过所述输入同轴连接器连接脉冲发生装置，所述阻抗匹配电路的第二端通过所述输出同轴连接器经传输线连接被测装置，且所述第二端通过所述输出同轴连接器经所述传输线还连接探测接收装置的第一采集端，所述阻抗匹配电路的第三端通过所述探测同轴连接器连接所述探测接收装置的第二采集端；

所述阻抗匹配电路的输入阻抗、所述阻抗匹配电路的输出阻抗、所述脉冲发生装置的输出阻抗、所述探测接收装置的所述第一采集端的第一阻抗以及所述第二采集端的第二阻抗，均与所述脉冲测试系统的特征阻抗相等，所述输入阻抗为所述阻抗匹配电路的阻抗、所述第一阻抗、所述第二阻抗的第一合成阻抗，所述阻抗匹配电路的输出阻抗为所述阻抗匹配电路的阻抗、所述第一阻抗、所述脉冲发生装置的输出阻抗的第二合成阻抗。

进一步地，所述阻抗匹配电路包括第一电阻、第二电阻以及第三电阻；

所述第一电阻的一端连接所述第二电阻的一端并作为所述阻抗匹配电路的第一端，所述第三电阻的一端连接所述第二电阻的另一端并作为所述阻抗匹配电路的第二端，所述第一电阻的另一端接地，所述第三电阻的另一端作为所述阻抗匹配电路的第三端。

进一步地，所述第一电阻、所述第二电阻、所述第三电阻的阻值分配如下：

R₃＝R₁-R₀

其中，R₁为所述第一电阻，R₂为所述第二电阻，R₃为所述第三电阻，R₀为所述特征阻抗，A₁为所述超快电流探测装置的第一衰减倍数，即所述第一端的第一电压值与所述第二端的第二电压值的第一比值。