[发明专利]数字散斑干涉系统的测量精度确定方法及装置

权利要求书

1.一种数字散斑干涉系统的测量精度确定方法，其特征在于，包括：

采用激光双频干涉仪监控物面绕偏摆轴执行多次偏摆，其中，所述物面绕所述偏摆轴每次偏摆的角度为第一预设角度；

采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变；

根据所述第一预设角度和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一预设角度和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度，包括：

根据所述第一预设角度，确定所述目标观测点对应的第二面外形变；

根据所述第二面外形变和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变之间的差异，确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一预设角度，确定所述目标观测点对应的第二面外形变，包括：

通过下述公式确定所述第二面外形变：

Δω＝Δθ·Δx；

其中，Δω为所述第二面外形变，Δθ为所述第一预设角度，Δx为所述目标观测点到所述偏摆轴的距离。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，包括：

针对任一次偏摆，采用所述数字散斑干涉系统确定本次偏摆所引起的物面相位变化；

根据所述物面相位变化，确定所述目标观测点本次偏摆对应的第一面外形变。

5.一种数字散斑干涉系统的测量精度确定方法，其特征在于，包括：

采用激光双频干涉仪监控物面绕滚转轴执行多次滚转，其中，所述物面绕所述滚转轴每次滚转的角度为第二预设角度；

采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的第一目标观测点和第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差，其中，所述第一目标观测点和所述第二目标观测点相对于所述滚转轴对称分布；

根据所述第二预设角度，以及所述第一目标观测点和所述第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差，确定所述数字散斑干涉系统的面内形变测量精度。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述第二预设角度，以及所述第一目标观测点和所述第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差，确定所述数字散斑干涉系统的面内形变测量精度，包括：

根据所述第二预设角度，确定所述第一目标观测点和所述第二目标观测点对应的第二面内形变差；

根据所述第二面内形变差，以及所述第一目标观测点和所述第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差之间的差异，确定所述数字散斑干涉系统的面内形变测量精度。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述根据所述第二预设角度，确定所述第一目标观测点和所述第二目标观测点对应的第二面内形变差，包括：

确定所述第一目标观测点和所述第二目标观测点之间的水平距离；

根据所述第二预设角度和所述水平距离的乘积，确定所述第二面内形变差。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的第一目标观测点和第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差，包括：

针对任一次滚转，采用所述数字散斑干涉系统确定本次滚转所引起的物面相位变化；

根据所述物面相位变化，确定所述第一目标观测点和所述第二目标观测点本次滚转对应的第一面内形变差。