[发明专利]数字散斑干涉系统的测量精度确定方法及装置

说明书

本公开涉及一种数字散斑干涉系统的测量精度确定方法及装置。所述方法包括：采用激光双频干涉仪监控物面绕偏摆轴执行多次偏摆，其中，所述物面绕所述偏摆轴每次偏摆的角度为第一预设角度；采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变；根据所述第一预设角度和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度。本公开可以实现对数字散斑干涉系统的面外形变测量的精度评价，进而可以在面外形变测量时有效实现对数字散斑干涉系统的标定和校准。

技术领域

本公开涉及全场光测量技术领域，尤其涉及一种数字散斑干涉系统的测量精度确定方法及装置。

背景技术

数字散斑干涉技术是一种能够测量微小变形和应变的全场光学测试技术，广泛应用于航空航天、精密仪器检测等领域，但目前其测量精度无法标定和评估。对数字散斑干涉系统进行校准和标定将更有利于数字散斑干涉技术的应用。因此，亟需一种标定和确定数字散斑干涉系统的测量精度的方法。

发明内容

有鉴于此，本公开提出了一种数字散斑干涉系统的测量精度标定和评定方法及装置。

根据本公开的一方面，提供了一种数字散斑干涉系统的测量精度确定方法，包括：

采用激光双频干涉仪监控物面绕偏摆轴执行多次偏摆，其中，所述物面绕所述偏摆轴每次偏摆的角度为第一预设角度；

采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变；

根据所述第一预设角度和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度。

在一种可能的实现方式中，所述根据所述第一预设角度和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度，包括：

根据所述第一预设角度，确定所述目标观测点对应的第二面外形变；

根据所述第二面外形变和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变之间的差异，确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度。

在一种可能的实现方式中，所述根据所述第一预设角度，确定所述目标观测点对应的第二面外形变，包括：

通过下述公式确定所述第二面外形变：

Δω＝Δθ·Δx；

其中，Δω为所述第二面外形变，Δθ为所述第一预设角度，Δx为所述目标观测点到所述偏摆轴的距离。

在一种可能的实现方式中，所述采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变，包括：

针对任一次偏摆，采用所述数字散斑干涉系统确定本次偏摆所引起的物面相位变化；

根据所述物面相位变化，确定所述目标观测点本次偏摆对应的第一面外形变。

根据本公开的另一方面，提供了一种数字散斑干涉系统的测量精度确定方法，包括：

采用激光双频干涉仪监控物面绕滚转轴执行多次滚转，其中，所述物面绕所述滚转轴每次滚转的角度为第二预设角度；

采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的第一目标观测点和第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差；

根据所述第二预设角度，以及所述第一目标观测点和所述第二目标观测点每次滚转对应的第一面内形变差，确定所述数字散斑干涉系统的面内形变测量精度。

在一种可能的实现方式中，所述根据所述第二预设角度，以及所述第一目标观测点和所述第二观测点每次滚转对应的第一面内形变差，确定所述数字散斑干涉系统的面内形变测量精度，包括：