[发明专利]对准结构有效
| 申请号： | 202010315379.0 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN111477610B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 陈彦烨;杨翔甯;吴志凌;彭钰雅 | 申请（专利权）人： | 錼创显示科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张娜;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾新竹科学园*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 对准 结构 | ||
1.一种对准结构，其特征在于，包括：
基板；
对准部，设置于所述基板上；以及
延伸部，设置于所述基板上，所述延伸部至少部分环绕所述对准部，并且与所述对准部间隔空气间隙，其中
环绕所述对准部的所述延伸部在第一方向上的高度大于所述对准部在所述第一方向上的高度，所述第一方向平行于所述基板的法线方向。
2.根据权利要求1所述的对准结构，其特征在于，所述对准部与所述延伸部在所述第一方向上的高度比落在大于0.5且小于1的范围内。
3.根据权利要求1所述的对准结构，其特征在于，所述延伸部在第二方向上与所述对准部在所述第二方向上的宽度比大于等于0.2且小于等于10，且所述第二方向垂直于所述基板的法线方向。
4.根据权利要求1所述的对准结构，其特征在于，所述对准部以及所述延伸部在第二方向上的宽度随着远离所述基板而递增，所述空气间隙在所述第二方向上的宽度渐减，且所述第二方向垂直于所述基板的法线方向。
5.根据权利要求1所述的对准结构，其特征在于，所述对准部以及所述延伸部在第二方向上的宽度随着远离所述基板而递减，所述空气间隙在所述第二方向上的宽度渐增，且所述第二方向垂直于所述基板的法线方向。
6.根据权利要求1所述的对准结构，其特征在于，所述空气间隙在第二方向上的宽度的最小值以及最大值的比例大于等于0.3，且小于等于1，且所述第二方向垂直于所述基板的法线方向。
7.根据权利要求6所述的对准结构，其特征在于，所述空气间隙的所述最小值大于0.001微米，且小于50微米。
8.根据权利要求1所述的对准结构，其特征在于，所述延伸部远离所述对准部的一侧与所述对准部靠近所述延伸部的一侧彼此为异形。
9.根据权利要求1所述的对准结构，其特征在于，所述延伸部靠近所述对准部的一侧与所述对准部靠近所述延伸部的一侧彼此为共形。
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