[发明专利]一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头在审
申请号: | 202010315976.3 | 申请日: | 2020-04-21 |
公开(公告)号: | CN111438632A | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 寇明虎;刘泳沣;郝元龙 | 申请(专利权)人: | 北京特思迪半导体设备有限公司 |
主分类号: | B24B37/30 | 分类号: | B24B37/30;B24B37/34;B24B37/005 |
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地址: | 101300 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 可调 整式 无线 传输 抛光 压头 | ||
1.一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头,包括保持架(1),其特征在于:所述保持架(1)的顶部设置有真空压头(2),所述真空压头(2)的顶部设置有真空压头固定板(3),保持架(1)的顶部固定连接有导向柱(6),所述导向柱(6)的顶部依次贯穿有中间隔板(4)和滑动套连接板(5),所述滑动套连接板(5)顶部的前侧和后侧均固定连接有支撑杆(8),所述滑动套连接板(5)的顶部固定连接有陶瓷滑套组件(11),所述中间隔板(4)的顶部固定连接有陶瓷滑杆座(9),所述陶瓷滑杆座(9)的顶部依次贯穿滑动套连接板(5)和陶瓷滑杆座(9)并固定连接有压簧旋钮(12),所述压簧旋钮(12)的顶部设置有上保持架(13),所述支撑杆(8)的顶部穿过上保持架(13)并延伸至上保持架(13)的顶部。
2.如权利要求1所述的一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头,其特征在于:所述真空压头(2)、真空压头固定板(3)、中间隔板(4)、陶瓷滑杆座(9)和压簧旋钮(12)均穿过中间隔板(4)套设在导向柱(6)的表面。
3.如权利要求1所述的一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头,其特征在于:所述陶瓷滑杆座(9)的表面活动连接有压簧(10),所述压簧(10)的顶部与压簧旋钮(12)的底部固定连接,所述压簧(10)的底部与陶瓷滑套组件(11)的顶部固定连接。
4.如权利要求1所述的一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头,其特征在于:所述真空压头(2)呈双层,所述中间隔板(4)的顶部固定连接有与真空压头(2)配合使用的锁紧型测微头(7)。
5.如权利要求1所述的一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头,其特征在于:所述压簧旋钮(12)的顶部设置有砝码(14),所述砝码(14)的数量为多个,且砝码(14)垂直叠加套设在陶瓷滑套组件(11)的表面。
6.如权利要求1所述的一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头,其特征在于:所述滑动套连接板(5)顶部的右侧活动连接有无线发射盒(15)。
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