[发明专利]一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头在审
| 申请号： | 202010315976.3 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN111438632A | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 寇明虎;刘泳沣;郝元龙 | 申请（专利权）人： | 北京特思迪半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/34;B24B37/005 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101300 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 可调 整式 无线 传输 抛光 压头 | ||
1.一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头，包括保持架（1），其特征在于：所述保持架（1）的顶部设置有真空压头（2），所述真空压头（2）的顶部设置有真空压头固定板（3），保持架（1）的顶部固定连接有导向柱（6），所述导向柱（6）的顶部依次贯穿有中间隔板（4）和滑动套连接板（5），所述滑动套连接板（5）顶部的前侧和后侧均固定连接有支撑杆（8），所述滑动套连接板（5）的顶部固定连接有陶瓷滑套组件（11），所述中间隔板（4）的顶部固定连接有陶瓷滑杆座（9），所述陶瓷滑杆座（9）的顶部依次贯穿滑动套连接板（5）和陶瓷滑杆座（9）并固定连接有压簧旋钮（12），所述压簧旋钮（12）的顶部设置有上保持架（13），所述支撑杆（8）的顶部穿过上保持架（13）并延伸至上保持架（13）的顶部。
2.如权利要求1所述的一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头，其特征在于：所述真空压头（2）、真空压头固定板（3）、中间隔板（4）、陶瓷滑杆座（9）和压簧旋钮（12）均穿过中间隔板（4）套设在导向柱（6）的表面。
3.如权利要求1所述的一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头，其特征在于：所述陶瓷滑杆座（9）的表面活动连接有压簧（10），所述压簧（10）的顶部与压簧旋钮（12）的底部固定连接，所述压簧（10）的底部与陶瓷滑套组件（11）的顶部固定连接。
4.如权利要求1所述的一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头，其特征在于：所述真空压头（2）呈双层，所述中间隔板（4）的顶部固定连接有与真空压头（2）配合使用的锁紧型测微头（7）。
5.如权利要求1所述的一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头，其特征在于：所述压簧旋钮（12）的顶部设置有砝码（14），所述砝码（14）的数量为多个，且砝码（14）垂直叠加套设在陶瓷滑套组件（11）的表面。
6.如权利要求1所述的一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头，其特征在于：所述滑动套连接板（5）顶部的右侧活动连接有无线发射盒（15）。
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