[发明专利]一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头

说明书

本发明公开了一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头，包括保持架。本发明通过设置保持架、真空压头、真空压头固定板、中间隔板、滑动套连接板、导向柱、锁紧型测微头、支撑杆、陶瓷滑杆座、压簧、陶瓷滑套组件、压簧旋钮、上保持架、砝码和无线发射盒的配合使用，解决了现有目前市场上有各种各样的抛光压头，而大部分抛光压头都是一次装配成型不可调整的，这样就会在加工的时候增加很多的不确定性，加工效果不可调整，在进行加工的时候，都需要人直观的去观察监视，才能确定已加工的数据的问题，该可调整式带无线传输的、寸抛光压头，具备有效的提高加工的精度和效率的优点，值得推广。

技术领域

本发明属于半导体加工制造技术领域，尤其涉及一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。

抛光压头的型号多样，但抛光压头不能调整加工精度，市场亟需一种可以调整加工精度的抛光压头，现有技术存在的问题是：目前市场上有各种各样的抛光压头，而大部分抛光压头都是一次装配成型不可调整的，这样就会在加工的时候增加很多的不确定性，加工效果不可调整，在进行加工的时候，都需要人直观的去观察监视，才能确定已加工的数据，延长该设备调整使用的时间。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明提供了一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头，具备有效的提高加工的精度和效率的优点，解决了现有目前市场上有各种各样的抛光压头，而大部分抛光压头都是一次装配成型不可调整的，这样就会在加工的时候增加很多的不确定性，加工效果不可调整，在进行加工的时候，都需要人直观的去观察监视，才能确定已加工的数据的问题。

本发明是这样实现的，一种可调整式带无线传输的、寸抛光压头，包括保持架，所述保持架的顶部设置有真空压头，所述真空压头的顶部设置有真空压头固定板，保持架的顶部固定连接有导向柱，所述导向柱的顶部依次贯穿有中间隔板和滑动套连接板，所述滑动套连接板顶部的前侧和后侧均固定连接有支撑杆，所述滑动套连接板的顶部固定连接有陶瓷滑套组件，所述中间隔板的顶部固定连接有陶瓷滑杆座，所述陶瓷滑杆座的顶部依次贯穿滑动套连接板和陶瓷滑杆座并固定连接有压簧旋钮，所述压簧旋钮的顶部设置有上保持架，所述支撑杆的顶部穿过上保持架并延伸至上保持架的顶部。

作为本发明优选的，所述真空压头、真空压头固定板、中间隔板、陶瓷滑杆座和压簧旋钮均穿过中间隔板套设在导向柱的表面。

作为本发明优选的，所述陶瓷滑杆座的表面活动连接有压簧，所述压簧的顶部与压簧旋钮的底部固定连接，所述压簧的底部与陶瓷滑套组件的顶部固定连接。

作为本发明优选的，所述真空压头呈双层，所述中间隔板的顶部固定连接有与真空压头配合使用的锁紧型测微头。

作为本发明优选的，所述压簧旋钮的顶部设置有砝码，所述砝码的数量为多个，且砝码垂直叠加套设在陶瓷滑套组件的表面。

作为本发明优选的，所述滑动套连接板顶部的右侧活动连接有无线发射盒。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：