[发明专利]一种气敏传感器及其在二氧化氮气体检测的应用

权利要求书

1.一种应用于二氧化氮气体检测的气敏传感器，其特征在于，所述气敏传感器设有表面滴加白碳悬浮液后干燥的叉指电极；

所述白碳悬浮液的浓度为1～2mg/ml，所述白碳悬浮液的滴加量为0.2～0.4ml/cm²。

2.根据权利要求1所述的气敏传感器，其特征在于，所述叉指电极的基底为硅-二氧化硅基底，所述硅-二氧化硅基底需经预处理纯化后再进行滴加步骤。

3.根据权利要求2所述的气敏传感器，其特征在于，所述预处理的方法为所述硅-二氧化硅基底使用甲苯、丙酮、无水乙醇以及蒸馏水中的任意一种或多种溶剂超声清洗后，真空干燥。

4.根据权利要求3所述的气敏传感器，其特征在于，所述超声清洗的时间为5～10min/次，所述超声清洗的次数为3～5次。

5.根据权利要求1所述的气敏传感器，其特征在于，所述白碳悬浮液的制备方法为：

S1、靶材浸泡于无水乙醇中，在保护气氛中，激光光束依次经全反射透镜和聚焦透镜后聚焦在靶材表面进行脉冲激光熔蚀反应；

S2、所述脉冲激光熔蚀反应结束后，将反应体系的溶液滴于衬底上，蒸干溶剂得白碳；

S3、所述白碳与去离子水混合，得白碳悬浮液。

6.根据权利要求5所述的气敏传感器，其特征在于，S1中，所述靶材为金靶材，所述激光光束聚焦后的光斑直径为0.1cm，所述保护气氛为氮气和/或氩气。

7.根据权利要求5所述的气敏传感器，其特征在于，S1中，所述脉冲激光熔蚀反应的反应时间为10～30min，所述脉冲激光熔蚀反应的激光频率为1～10Hz，所述脉冲激光熔蚀反应的单脉冲能量为100～800mJ。

8.根据权利要求5所述的气敏传感器，其特征在于，S2中，所述衬底为硅片或玻璃片。