[发明专利]一种气敏传感器及其在二氧化氮气体检测的应用

说明书

本发明属于传感器制备技术领域，尤其涉及一种气敏传感器及在二氧化氮气体检测的应用。本发明提供了一种气敏传感器，所述气敏传感器设有表面滴加白碳悬浮液后干燥的叉指电极。本发明还提供了上述气敏传感器在二氧化氮气体检测的应用。经检测可得，本发明提供的技术方案制得的气敏传感器，在常温可见光下，即可对不同浓度的二氧化氮进行检测，具有响应性好、灵敏度高、响应及恢复时间快、重现性好、选择性强、抗湿性好的优点；且制备简单，生产成本低，绿色环保，尤其适用于环境中低浓度二氧化氮的检测。本发明提供的一种气敏传感器及其在二氧化氮气体检测的应用，解决了现有技术中，气敏传感器需在高温或紫外光下才可工作的技术缺陷。

技术领域

本发明属于传感器制备技术领域，尤其涉及一种气敏传感器及其在二氧化氮气体检测的应用。

背景技术

随着工业化的发展，越来越多有毒有害气体产生，气敏传感器作为探测有毒有害气体的器件越来越受重视。

现有技术中，气敏传感器材料都需要在高温或者紫外光下工作，而高温在使用时会存在安全性的问题，紫外光也存在对人体有害的问题，给气敏传感器的应用带来了限制。

有鉴于此，本发明提供了一种气敏传感器及在二氧化氮气体检测的应用，用于解决现有技术中，气敏传感器需在高温或紫外光下才可工作的技术缺陷，成为了本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种气敏传感器及在二氧化氮气体检测的应用，用于解决现有技术中，气敏传感器需在高温或紫外光下才可工作的技术缺陷。

本发明提供了一种气敏传感器，所述气敏传感器设有表面滴加白碳悬浮液后干燥的叉指电极。

优选地，所述白碳悬浮液的浓度为1～2mg/ml，所述白碳悬浮液的滴加量为 0.2～0.4ml/cm²。

优选地，所述叉指电极的基底为硅-二氧化硅基底，所述硅-二氧化硅基底需经预处理纯化后再进行滴加步骤。

优选地，所述预处理的方法为所述硅-二氧化硅基底使用甲苯、丙酮、无水乙醇以及蒸馏水中的任意一种或多种溶剂超声清洗后，真空干燥。

优选地，所述超声清洗的时间为5～10min/次，所述超声清洗的次数为3～5 次。

优选地，所述白碳悬浮液的制备方法为：

S1、靶材浸泡于无水乙醇中，在保护气氛中，激光光束依次经全反射透镜和聚焦透镜后聚焦在靶材表面进行脉冲激光熔蚀反应；

S2、所述脉冲激光熔蚀反应结束后，将反应体系的溶液滴于衬底上，蒸干溶剂得白碳；

S3、所述白碳与去离子水混合，得白碳悬浮液。

优选地，S1中，所述靶材为金靶材，所述激光光束聚焦后的光斑直径为 0.1cm，所述保护气氛为氮气和/或氩气。

优选地，S1中，所述脉冲激光熔蚀反应的反应时间为10～30min，所述脉冲激光熔蚀反应的激光频率为1～10Hz，所述脉冲激光熔蚀反应的单脉冲能量为 100～800mJ。

优选地，S2中，所述衬底为硅片或玻璃片。

本发明还提供了一种包括以上任意一项所述的气敏传感器在二氧化氮气体检测的应用。