[发明专利]一种靶材绑定后焊料金属回收装置及回收方法

权利要求书

1.一种靶材绑定后焊料金属回收装置，其特征在于：包括外壳(1)，所述外壳(1)内自上而下垂直设置有三个过滤部件依次为第一过滤部件(21)、第二过滤部件(22)、第三过滤部件(23)，所述过滤部件上均设有滤孔区(24)，且第一过滤部件(21)、第二过滤部件(22)、第三过滤部件(23)的滤孔孔径依次缩小；对于所述第一过滤部件(21)、第二过滤部件(22)、第三过滤部件(23)均对应设有独立的加热装置；所述外壳(1)的底部放置有回收容器(3)。

2.根据权利要求1所述的靶材绑定后焊料金属回收装置，其特征在于：所述外壳(1)上与第一过滤部件(21)、第二过滤部件(22)、第三过滤部件(23)对应的位置上均设有一个观察窗(4)。

3.根据权利要求1所述的靶材绑定后焊料金属回收装置，其特征在于：所述第一过滤部件(21)、第二过滤部件(22)、第三过滤部件(23)均为碗型，所述滤孔区(24)均设置于每个所述过滤部件的底部中心位置。

4.根据权利要求3所述的靶材绑定后焊料金属回收装置，其特征在于：所述第一过滤部件(21)、第二过滤部件(22)、第三过滤部件(23)上的滤孔区(24)的面积依次增大。

5.根据权利要求4所述的靶材绑定后焊料金属回收装置，其特征在于：所述第一过滤部件(21)、第二过滤部件(22)、第三过滤部件(23)均具有向上延伸的外缘(25)。

6.根据权利要求1至5任一项所述的靶材绑定后焊料金属回收装置，其特征在于：每个所述加热装置包括包覆于所述外壳(1)外面的加热层(51)，与所述加热层(51)连接的温度显示器(52)，所有所述加热层(51)都与控温装置连接。

7.根据权利要求6所述的靶材绑定后焊料金属回收装置，其特征在于：所述外壳(1)上设有用于取出所述回收容器(3)的回收门(12)。

8.根据权利要求7所述的靶材绑定后焊料金属回收装置，其特征在于：所述外壳(1)的顶端盖设有带把手的顶盖(11)。

9.使用权利要求8所述的回收装置的靶材绑定后焊料金属回收方法，其特征在于包括以下步骤：

(a)将焊料残渣摆放在所述第一过滤部件(21)上，盖上所述顶盖(11)；

(b)过滤：通过控温装置同时打开三个所述加热装置，设定三个过滤部件对应区域的温度为：设A为焊料金属的熔点，

第一过滤部件(21)区域：温度(80°+A)-(100°+A)，保温1.5-2.5h；

第二过滤部件(22)区域：温度(50°+A)-(70°+A)，相对于第一过滤部件(21)区域多保温15-20min；

第三过滤部件(23)区域：温度(10°+A)-(30°+A)，相对于第二过滤部件(22)区域多保温30-40min；

(c)通过回收容器(3)回收经过三层过滤的焊料金属；

(d)回收完毕后，打开回收门(12)取出回收容器(3)。

10.根据权利要求9所述的靶材绑定后焊料金属回收方法，其特征在于：在所述步骤(b)进行的过程中，通过设在所述外壳(1)上的观察窗(4)观察每个所述过滤部件的情况，若发现某个所述过滤部件区域的金属呈半凝固状，则通过所述控制装置手动提高该过滤部件区域的温度。