[发明专利]一种将LED晶圆分离N份的倒膜的方法有效
申请号: | 202010333331.2 | 申请日: | 2020-04-24 |
公开(公告)号: | CN111509107B | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 郭祖福;官婷 | 申请(专利权)人: | 湘能华磊光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L33/00;H01L21/683 |
代理公司: | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人: | 张勇;唐玲 |
地址: | 423038 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 led 分离 方法 | ||
1.一种将LED晶圆分离N份的倒膜的方法,包括以下步骤:
S1.将承载大蓝膜(2)上的晶体通过设备分隔成多个单个晶粒(3),且晶体的背面与承载大蓝膜(2)粘黏连接;
S2.将面积大于切割前晶体总面积的隔板(1)盖在切割后产品的正面上,此时隔板(1)的背面与单个晶粒(3)的正面相贴合,同时将切割后的某个单个晶粒(3)与隔板(1)上的通孔(4)对齐,并使承载大蓝膜(2)上其它的单个晶粒(3)均被隔板(1)遮挡;
S3.将比通孔(4)端口处周边大出2cm以上的过渡承载膜(5)粘黏在隔板(1)的正面上,使过渡承载膜(5)对通孔(4)端口处进行遮覆;
S4.将隔板(1)翻转180°,使隔板(1)背面上的承载大蓝膜(2)以及承载大蓝膜(2)上粘黏的多个单个晶粒(3)在隔板(1)的翻转下调节至隔板(1)的上方,同时使隔板(1)正面上的过渡承载膜(5)调节至隔板(1)的下方;
S5.工作人员通过右手/左手利用铲刀(7)将与通孔(4)处对齐的单个晶粒(3)所在处的承载大蓝膜(2)进行45°角按压,同时工作人员的左手/右手捏住承载大蓝膜(2)的一角,并在铲刀(7)的按压下将承载大蓝膜(2)整体与通孔(4)对齐的单个晶粒(3)之间进行撕离,且铲刀(7)是在承载大蓝膜(2)被撕离的过程中实现移动的,即铲刀(7)在按压的过程中受到被撕离时承载大蓝膜(2)的力的作用,通过该作用力实现铲刀(7)向撕离方向的移动,以此将与通孔(4)对齐处的单个晶粒(3)粘黏在过渡承载膜(5)上,且剩下的其他单个晶粒(3)仍然在承载大蓝膜(2)上;
S6.将面积大于通孔(4)端口面积的封装小蓝膜(8)粘黏在隔板(1)的背面上,并使封装小蓝膜(8)对通孔(4)端口处进行遮覆;
S7.将隔板(1)翻转180°,使隔板(1)正面上的过渡承载膜(5)通过隔板(1)的翻转调节至隔板(1)的上方,同时使隔板(1)背面上的封装小蓝膜(8)调节至隔板(1)的下方;
S8.工作人员通过右手/左手利用铲刀(7)对过渡承载膜(5)上粘黏单个晶粒(3)的区域进行45°角按压,同时工作人员的左手/右手捏住过渡承载膜(5)上的拨片(6),并在铲刀(7)的按压下将过渡承载膜(5)撕离单个晶粒(3)的正面,以此便完成了单个晶粒(3)的分离以及倒膜的过程;
S9.将承载大蓝膜(2)上的其他单个晶粒(3)重复S2-S8步骤进行操作即可。
2.根据权利要求1所述的一种将LED晶圆分离N份的倒膜的方法,其特征在于,所述隔板(1)为任意形状,且隔板(1)的厚度略大于单个晶粒(3)的厚度。
3.根据权利要求1所述的一种将LED晶圆分离N份的倒膜的方法,其特征在于,所述通孔(4)的形状与切割后单个晶粒(3)的形状相同,且通孔(4)的直径略大于单个晶粒(3)的直径。
4.根据权利要求1所述的一种将LED晶圆分离N份的倒膜的方法,其特征在于,所述拨片(6)与过渡承载膜(5)一体成型设置。
5.根据权利要求1所述的一种将LED晶圆分离N份的倒膜的方法,其特征在于,所述铲刀(7)对单个晶粒(3)按压部位的长度小于每相邻两个单个晶粒(3)之间的长度且大于单个晶粒(3)的直径。
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