[发明专利]线宽标准样片的线宽量值确定的方法及系统

说明书

本发明适用于微纳米测量仪器计量技术领域，提供了一种线宽标准样片的线宽量值确定的方法及系统，该方法包括：对椭偏仪进行校准；建立基于多层膜沉积工艺的多层膜厚样片测量模型，并在所述多层膜厚样片测量模型建立过程中对初次校准后的椭偏仪进行再次校准；基于多层膜沉积工艺沉积多层膜厚样片；采用再次校准后的椭偏仪，对所述多层膜厚样片的薄膜厚度进行测量，得到测量结果，并将所述测量结果作为线宽标准样片的线宽量值，从而可以确定纳米级线宽标准样片的量值，提高纳米级线宽标准样片定值的准确度。

技术领域

本发明属于微纳米测量仪器计量技术领域，尤其涉及一种线宽标准样片的线宽量值确定的方法及系统。

背景技术

线宽标准样片作为微纳米测量仪器的校准标准器具，在半导体和微电子领域的扫描电子显微镜、透射电子显微镜等领域应用广泛。线宽标准样片量值的准确度直接影响测量仪器校准结果的可靠性。

线宽标准样片通常采用电镜法和原子力显微镜法进行定值。目前采用多层膜沉积技术制备形成线宽标准样片后，只能使用原子力显微镜或电子显微镜进行线宽的测量定值，然而，当线宽量值达到纳米量级后，电镜法给出的线宽量值的测量不确定度较大，通常为3nm左右；而原子力显微镜则由于存在探针效应无法测量。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种线宽标准样片的线宽量值确定的方法及系统，旨在解决现有技术中无法准确测量纳米量级的线宽标准样片线宽量值的问题。

为实现上述目的，本发明实施例的第一方面提供了一种线宽标准样片的线宽量值确定的方法，包括：

对椭偏仪进行校准；

建立基于多层膜沉积工艺的多层膜厚样片测量模型，并在所述多层膜厚样片测量模型建立过程中对初次校准后的椭偏仪进行再次校准；

基于多层膜沉积工艺沉积多层膜厚样片；

采用再次校准后的椭偏仪，对所述多层膜厚样片的薄膜厚度进行测量，得到测量结果，并将所述测量结果作为线宽标准样片的线宽量值。

作为本申请另一实施例，所述对椭偏仪进行校准，包括：

采用薄膜厚度不同的多个二氧化硅膜厚标准样片对椭偏仪进行校准。

作为本申请另一实施例，所述建立基于多层膜沉积工艺的多层膜厚样片测量模型，包括：

采用晶圆片和第一陪片在所述第一陪片上生长一层第一介质材料；

测量所述第一介质材料的介质参数；

采用所述晶圆片和第二陪片在所述第二陪片上生长一层第二介质材料；

测量所述第二介质材料的介质参数；

根据所述第一介质材料的介质参数和所述第二介质材料的介质参数，建立基于多层膜沉积工艺的多层膜厚样片测量模型。

作为本申请另一实施例，所述采用晶圆片和第一陪片在所述第一陪片上生长一层第一介质材料，包括：

基于晶圆片和第一陪片采用磁控溅射工艺在所述第一陪片上生长一层第一介质材料；

采用所述晶圆片和第二陪片在所述第二陪片上生长一层第二介质材料，包括：

基于所述晶圆片和第二陪片采用磁控溅射工艺在所述第二陪片上生长一层第二介质材料。

作为本申请另一实施例，测量所述第一介质材料的介质参数，包括：

根据所述晶圆片和所述第一陪片的材质对初次校准后的椭偏仪设置初始测量参数；

基于初次校准后的椭偏仪测量所述第一介质材料的介质参数；