[发明专利]一种缺陷检测装置及其方法

权利要求书

1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括：

工件台，用于承载待测物；

光源，用于出射检测光束，所述检测光束照射所述待测物，并经所述待测物反射或散射形成待成像光束；

光学成像单元，位于所述待成像光束的传输路径上，用于收集所述待成像光束；

时间延时积分相机，位于所述光学成像单元背离所述待测物的一侧；

驱动单元，用于根据预设步长驱动所述工件台沿所述时间延时积分相机推扫方向移动，其中，所述工件台每按所述预设步长移动一次，所述时间延时积分相机获取一幅实测待测物图像元；

位移测量单元，所述工件台每按所述预设步长移动一次，所述位移测量单元测量一次所述工件台沿所述时间延时积分相机推扫方向的实际位移；

控制单元，所述控制单元分别与所述时间延时积分相机、所述位移测量单元和所述驱动单元电连接，用于根据所述实测待测物图像元以及所述预设步长获取标准待测物图像元，并根据当次的所述实际位移调整所述工件台下次移动的预设步长，直至所述时间延时积分相机将所述待测物扫描完成获取多个所述标准待测物图像元；依次拼接多个所述标准待测物图像元，形成标准待测物图像；并根据所述标准待测物图像对所述待测物进行缺陷检测；

所述控制单元还用于根据所述预设步长确定所述实测待测物图像元的响应函数，其中，根据检测表面平整的标准缺陷待测物，所述标准缺陷待测物位于所述工件台上，所述控制单元以所述预设步长控制所述工件台沿所述时间延时积分相机的推扫方向移动，所述工件台实际移动的位移即为所述预设步长，将所述时间延时积分相机每次获取的标准缺陷待测物图像元确定为所述预设步长对应的所述响应函数；

所述控制单元还用于采用反卷积运算根据所述响应函数和所述实测待测物图像元确定所述标准待测物图像元，所述标准待测物图像元为所述实测待测物图像元与所述响应函数反卷积运算所得。

2.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述控制单元还用于获取所述预设步长和所述实际位移的差值；并将所述预设步长和所述差值之和确定为所述工件台下次移动的预设步长。

3.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述光学成像单元包括第一光学透镜和第二光学透镜，所述第一光学透镜位于所述待测物背离所述工件台的一侧，所述第二光学透镜位于所述第一光学透镜背离所述工件台的一侧，所述第一光学透镜用于收集并准直所述待成像光束，所述待成像光束经过所述第二光学透镜会聚于所述时间延时积分相机。

4.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述位移测量单元为激光干涉仪或光栅尺。

5.一种缺陷检测方法，其特征在于，基于如权利要求1-4任一项所述的缺陷检测装置实现，包括以下步骤：

以预设步长控制所述工件台沿所述时间延时积分相机推扫方向移动；

获取所述工件台的实际位移；

获取所述时间延时积分相机形成的实测待测物图像元；

根据所述实测待测物图像元以及所述预设步长获取标准待测物图像元；

根据所述预设步长以及所述实际位移确定所述工件台下次移动的预设步长；依次重复上述步骤，直至所述时间延时积分相机将所述待测物扫描完成获取多个所述标准待测物图像元；

依次拼接多个所述标准待测物图像元，形成标准待测物图像；

根据所述标准待测物图像对所述待测物进行缺陷检测。

6.根据权利要求5所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述根据所述实测待测物图像元以及所述预设步长获取标准待测物图像元包括：

根据所述预设步长确定所述实测待测物图像元的响应函数；

根据所述响应函数和所述实测待测物图像元确定所述标准待测物图像元。

7.根据权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述根据所述响应函数和所述实测待测物图像元确定所述标准待测物图像元包括：

采用反卷积运算根据所述响应函数和所述实测待测物图像元确定所述标准待测物图像元。

8.根据权利要求5所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述根据所述预设步长以及所述实际位移确定所述工件台下次移动的预设步长包括：

获取所述预设步长和所述实际位移的差值；

将所述预设步长和所述差值之和确定为所述工件台下次移动的预设步长。