[发明专利]一种缺陷检测装置及其方法

说明书

本发明公开了一种缺陷检测装置及其方法，该装置通过控制驱动电机驱动工件台沿时间延时积分相机推扫方向移动，在工件台每按预设步长移动一次，时间延时积分相机获取一幅实测待测物图像元；工件台每按预设步长移动一次，位移测量单元测量一次工件台的实际位移；控制单元用于根据所述实测待测物图像元以及所述预设步长确定标准待测物图像元，并根据当次的所述实际位移调整所述工件台下次移动的预设步长，直至所述时间延时积分相机将所述待测物扫描完成获取多个所述标准待测物图像元；依次拼接多个所述标准待测物图像元，形成标准待测物图像；并根据所述标准待测物图像对所述待测物进行缺陷检测，从而使得标准待测物图像更加清晰，更好识别待测物缺陷。

技术领域

本发明涉及光学测量检测技术领域，尤其涉及一种缺陷检测装置及其方法。

背景技术

自动光学检测(Automatic Optical Inspection，AOI)是基于光学原理来对焊接生产中遇到的常见缺陷进行检测的设备，可实现对待测对象的快速、高精度、无损伤检测，现被广泛应用于PCB、IC芯片、晶圆、LED、TFT以及太阳能面板等多个领域。自动光学检测技术一般采用高精度光学成像系统对待测对象进行成像，工件台承载待测对象进行高速扫描以实现高速测量；系统将扫描的图像和理想参考图像进行比较，或通过特征提取等方式，识别出待测对象的表面缺陷。

其中，自动光学检测技术中使用的相机通常为时间延时积分(Time DelayIntegration)相机。该相机在拍照时，尤其在工件台高速扫描过程中，工件台的位置由于伺服、测量、导轨等因素的影响可能会产生误差，进而导致相机采集图像出现模糊现象。并且工件台的位置误差越大，TDI相机采集的图像越模糊。

发明内容

本发明提供一种缺陷检测装置及其方法，以解决工件台由于伺服、测量、导轨等误差因素的影响引起图像模糊的问题。

为实现上述目的，本发明一方面实施例提出了一种缺陷检测装置，包括：

工件台，用于承载待测物；

光源，用于出射检测光束，所述检测光束照射所述待测物，并经所述待测物反射或散射形成待成像光束；

光学成像单元，位于所述待成像光束的传输路径上，用于收集所述待成像光束；

时间延时积分相机，位于所述光学成像单元背离所述待测物的一侧；

驱动单元，用于根据预设步长驱动所述工件台沿所述时间延时积分相机推扫方向移动，其中，所述工件台每按所述预设步长移动一次，所述时间延时积分相机获取一幅实测待测物图像元；

位移测量单元，所述工件台每按所述预设步长移动一次，所述位移测量单元测量一次所述工件台沿所述时间延时积分相机推扫方向的实际位移；

控制单元，所述控制单元分别与所述时间延时积分相机、所述位移测量单元和所述驱动单元电连接，用于根据所述实测待测物图像元以及所述预设步长获取标准待测物图像元，并根据当次的所述实际位移调整所述工件台下次移动的预设步长，直至所述时间延时积分相机将所述待测物扫描完成获取多个所述标准待测物图像元；依次拼接多个所述标准待测物图像元，形成标准待测物图像；并根据所述标准待测物图像对所述待测物进行缺陷检测。

可选地，所述控制单元还用于根据所述预设步长确定所述实测待测物图像元的响应函数；根据所述响应函数和所述实测待测物图像元确定所述标准待测物图像元。

可选地，所述控制单元还用于采用反卷积运算根据所述响应函数和所述实测待测物图像元确定所述标准待测物图像元。

可选地，所述控制单元还用于获取所述预设步长和所述实际位移的差值；并将所述预设步长和所述差值之和确定为所述工件台下次移动的预设步长。