[发明专利]一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架有效
| 申请号： | 202010335935.0 | 申请日： | 2020-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN111447751B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 任春花;任春杰;白胜辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市科路迪机械设备有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06;C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 诸炳彬 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 精密 蚀刻 装置 及其 喷淋 | ||
1.一种精密蚀刻装置，包括机体(8)以及蚀刻喷淋架(9)，其特征是：所述蚀刻喷淋架(9)包括架体(1)以及设置在架体(1)上的喷嘴(2)，所述喷嘴(2)的喷淋区倾斜于架体(1)的宽度或长度方向，所述喷嘴(2)间隔纵横排布，相邻行或列的喷嘴(2)错位设置，所述机体(8)内设置有用于输送线路板的输送辊，所述机体(8)上对应输送辊处设置有真空吸刀(26)，所述真空吸刀(26)上连接有产生吸力的驱动件，所述机体(8)的底部设置有储液槽(14)，所述驱动件包括连接至储液槽(14)内的输液管(27)，所述输液管(27)远离于储液槽(14)的一端连接有循环水泵(31)，所述循环水泵(31)的进水口连通至储液槽(14)，所述输液管(27)上连接有与真空吸刀(26)连接的分管(28)，所述输液管(27)竖向设置且其位于储液槽(14)内的端部连接有水平管(32)，水平管(32)上设置有与输液管(27)转动连接的连接套(34)，输液管(27)内固定设置有叶轮(33)，叶轮(33)的中心延伸有轴体(35)，轴体(35)延伸至与连接套(34)固定。
2.根据权利要求1所述的精密蚀刻装置，其特征在于：所述输液管(27)对应分管(28)处设置有流通截面缩小的增速部。
3.根据权利要求1所述的精密蚀刻装置，其特征在于：所述蚀刻喷淋架(9)的进水总口处连接有通水管(15)，所述通水管(15)上连接有抽水泵，所述抽水泵的进水口设置有连通至储液槽(14)内的连接管，所述抽水泵的进水口和出水口均设置有第一过滤器，所述通水管(15)上设置有第二过滤器(16)，所述储液槽(14)的顶部设置有过滤网床(17)。
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