[发明专利]红外探测器及其制备方法和应用

说明书

本发明提供一种红外探测器及其制备方法和应用，能够提高红外探测器的测温精度以及测定准确性。所述红外探测器，用于对被测物进行红外探测，包括标定模块，用于进行红外探测的标定，包括：密封罩，罩设于所述衬底上表面，在所述衬底上表面形成第一密闭空间；参考像元，设置于所述第一密闭空间内，用于检测红外光；辐射源，设置于所述第一密闭空间内，用于发射红外光供所述参考像元获取并检测，且所述辐射源的温度可控。

技术领域

本发明涉及红外探测器技术领域，尤其涉及一种红外探测器及其制备方法和应用。

背景技术

红外探测器是工业、物联网、安防、家居生活等应用中的重要传感器。红外探测器通过检测目标物体发射的红外热辐射并输出电信号，可以实现存在检测、夜视、非接触测温等功能。其中，红外非接触测温技术具有响应速度快、对被测目标无扰动、可远距离测温等优势，因此在工业生产和日常生活中都应用越来越广泛。典型产品包括工业测温枪、医用耳温计、额温计、工业热像仪、医疗热像仪等。红外非接触测温仪器的核心单元是红外探测器，根据探测器中敏感元的数量，红外探测器又分为单元型、阵列型、以及焦平面型。其中阵列型和焦平面型可以输出红外图像及多个温度点，因此应用领域非常广泛。

现有技术中，随着红外探测器的使用时长的增加，红外探测器的测温精度逐渐下降，测定准确性也逐渐下降。

红外探测器从接收到红外光到输出可靠的温度值，一个重要的环节是测温标定。测温标定的过程一般是在生产厂家利用标准黑体辐射源完成。主要采用多个不同温度的黑体作为温度基准，使基准黑体的红外光充满红外探测器的视场，通过采集不同温度黑体辐射时的传感器输出电压，拟合出测温曲线，从而达到非接触测温的功能。

但是，在出厂后的使用过程中，输出的测温曲线逐渐偏移，仪器测温精度下降，影响红外探测器的测定准确性。

发明内容

以下提供了一种红外探测器及其制备方法和应用，能够提高红外探测器的测温精度以及测定准确性。

为了解决上述问题，以下提供了一种红外探测器，用于对被测物进行红外探测，包括标定模块，包括：密封罩，罩设于所述衬底上表面，在所述衬底上表面形成第一密闭空间；参考像元，设置于所述第一密闭空间内，用于检测红外光；辐射源，设置于所述第一密闭空间内，用于发射红外光供所述参考像元获取并检测，且所述辐射源的温度可控。

可选的，还包括探测模块，用于对被测物进行红外探测，包括：上盖，罩设于所述衬底上表面，在所述衬底上表面形成第二密闭空间；检测像元，设置于所述第二密闭空间内，用于检测被测物的红外光；上盖包括透明区域，所述被测物的红外光透过所述透明区域入射至所述检测像元。

可选的，所述辐射源包括：控制电路，连接至所述辐射源，用于控制所述辐射源工作在预设的温度下，发出已知的红外光。

可选的，所述辐射源附着于所述密封罩的顶面内壁，或悬空设置于所述密封罩的顶面内壁，且所述辐射源表面涂覆有增加辐射率的涂层，包括金黑涂层、铂黑涂层或炭黑涂层中的至少一种。

可选的，所述第一密闭空间被抽真空，且所述密封罩的外表面形成有反射区域，涂覆有反射层，用于反射所述密封罩外的红外光。

可选的，所述上盖的底面的内外表面均覆盖设置有增透膜，所述第一密闭空间和第二密闭空间内均设置有吸气剂。

为了解决上述问题，以下还提供了一种红外探测器的制备方法，包括以下步骤：提供第一衬底和第二衬底；在所述第一衬底上表面挖设第一凹槽；在所述第一凹槽内形成辐射源，或在所述第二衬底上方形成辐射源，所述辐射源的温度可控；将所述第一衬底倒扣到所述第二衬底表面，将所述参考像元设置到所述第一凹槽内，所述辐射源也设置在所述第一凹槽内。