[发明专利]一种易于拾取的晶圆切割膜及其制备方法

权利要求书

1.一种易于拾取的晶圆切割膜，包含基材膜、胶粘层和离型膜，其特征在于，按重量份计，所述胶粘层包括粘结树脂80-120份、光引发剂1-7份、交联剂2-10份。

2.根据权利要求1所述的晶圆切割膜，其特征在于，所述基材膜选自聚烯烃膜、聚酯膜、聚碳酸酯膜、聚氯乙烯膜、聚四氟乙烯膜、聚丁烯膜、聚丁二烯膜、氯乙烯共聚物膜、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物膜、乙烯-丙烯共聚物膜、乙烯-丙烯酸烷基酯共聚物膜中的任一种。

3.根据权利要求1所述的晶圆切割膜，其特征在于，所述粘结树脂选自丙烯酸酯类树脂、环氧树脂、烯烃共聚物中的一种或多种。

4.根据权利要求3所述的晶圆切割膜，其特征在于，所述丙烯酸酯类树脂为不含羟基的丙烯酸酯类单体与含羟基的丙烯酸酯类单体的共聚物。

5.根据权利要求4所述的晶圆切割膜，其特征在于，所述不含羟基的丙烯酸酯类单体为丙烯酸烷基酯；所述烷基碳原子数为C4-C8。

6.根据权利要求4所述的晶圆切割膜，其特征在于，所述含羟基的丙烯酸酯类单体选自(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟丙酯、(甲基)丙烯酸4-羟丁酯、(甲基)丙烯酸6-羟己酯、(甲基)丙烯酸8-羟辛酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙二醇酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙二醇酯中的一种或多种。

7.根据权利要求3所述的晶圆切割膜，其特征在于，所述烯烃共聚物为1-丁烯·α-烯烃共聚物；所述1-丁烯·α-烯烃共聚物中α-烯烃的摩尔含量不大于15％。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的晶圆切割膜，其特征在于，所述光引发剂选自苯偶姻、苯偶酰衍生物、α-羟基酮衍生物、α-氨基酮衍生物、酰基膦氧化物、二苯甲酮及其衍生物、三芳基硫鎓盐、芳茂铁盐中的一种或多种。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的晶圆切割膜，其特征在于，所述交联剂选自异氰酸酯类化合物、氮丙啶类化合物、环氧类化合物和金属螯合物化合物中的一种或多种。

10.一种根据权利要求1-9中任一项所述的晶圆切割膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将胶粘层的制备原料涂布于基材膜表面，烘干；再于胶粘层表面贴合离型膜层，即得所述晶圆切割膜。