[发明专利]一种音叉振荡器的镀膜方法及镀膜音叉振荡器在审
| 申请号： | 202010345289.6 | 申请日： | 2020-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN111575656A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 邵杰权 | 申请（专利权）人： | 深圳市科瀚电子有限公司;深圳市峰华电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/16;G04D3/00;G04F5/04;H03H3/02 |
| 代理公司： | 深圳市徽正知识产权代理有限公司 44405 | 代理人： | 郭振媛 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 音叉 振荡器 镀膜 方法 | ||
1.一种音叉振荡器的镀膜方法，其特征在于，包括如下步骤：
将音叉振荡器安装在真空镀膜机的蒸发槽内，对所述真空镀膜机抽真空；
在真空环境下，通过电阻蒸发源加热钼舟在所述音叉振荡器的基材表面蒸镀铬层；
在所述铬层的上方蒸镀铬铜合金层；
在所述铬铜合金层的上方蒸镀铜银合金层；
在所述铜银合金层的上方蒸镀银层，完成所述音叉振荡器基材表面的镀膜。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述铬层的厚度为9.7-10.3nm。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述铬铜合金层的厚度为19.7-20.3nm。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述铜银合金层的厚度为49.7-50.3nm。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述银层的厚度为369.7-370.3nm。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在蒸镀过程中，采用沉积速率蒸镀。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：在蒸镀完成之后，打开放气阀和充气阀，其中所述充气阀充入的气体为氮气或惰性气体。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在对所述真空镀膜机抽真空之后，所述方法还包括：通过离子烘机烘烤所述真空镀膜机。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，烘烤温度为126-134度，烘烤时间为10分钟。
10.一种镀膜音叉振荡器，其特征在于所述镀膜音叉振荡器使用权利要求1-9任一项所述方法制备得到。
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