[发明专利]一种金属蒸发料的表面处理方法

权利要求书

1.一种金属蒸发料的表面处理方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

(1)将金属蒸发料采用有机溶剂进行超声波清洗；

(2)将步骤(1)超声波清洗后的金属蒸发料进行酸洗，酸洗所用酸洗液为无机混合酸；

(3)将步骤(2)酸洗后的金属蒸发料再次进行超声波清洗后干燥处理。

2.根据权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，所述金属蒸发料包括铝蒸发料、铜蒸发料或钛蒸发料中任意一种或至少两种的组合；

优选地，所述金属蒸发料的形状包括球形、圆柱形、棱柱形或片状中任意一种或至少两种的组合。

3.根据权利要求1或2所述的表面处理方法，其特征在于，步骤(1)所述有机溶剂包括清洗油和异丙醇；

优选地，所述超声波清洗为先采用清洗油进行清洗，再采用异丙醇进行清洗；

优选地，所述清洗油包括煤油、汽油或柴油中任意一种或至少两种的组合；

优选地，步骤(1)所述超声波清洗所用超声波的频率为40～100kHz；

优选地，步骤(1)所述超声波清洗中，采用清洗油清洗和采用异丙醇清洗的时间独立地为3～8min。

4.根据权利要求1-3任一项所述的表面处理方法，其特征在于，步骤(1)所述采用有机溶剂清洗后，再采用水进行超声波清洗；

优选地，采用水进行超声波清洗时所用超声波的频率为40～80kHz，清洗时间为2～6min。

5.根据权利要求1-4任一项所述的表面处理方法，其特征在于，步骤(2)所述无机混合酸包括硝酸、氢氟酸和硫酸；

优选地，所述硝酸、氢氟酸和硫酸的摩尔比为1:(2～4):(1.5～3)；

优选地，所述无机混合酸的总浓度为4～12mol/L。

6.根据权利要求1-5任一项所述的表面处理方法，其特征在于，步骤(2)所述酸洗的温度为35～45℃；

优选地，步骤(2)所述酸洗的时间为5～15min；

优选地，步骤(2)所述酸洗过程酸洗液中通入气体；

优选地，所述气体为保护性气体，包括氮气和/或惰性气体；

优选地，所述气体的压力为0.05～0.12MPa。

7.根据权利要求1-6任一项所述的表面处理方法，其特征在于，步骤(3)采用水进行超声波清洗；

优选地，步骤(3)超声波清洗所用超声波的频率为40～80kHz；

优选地，步骤(3)超声波清洗的时间为为2～6min；

优选地，步骤(3)超声波清洗过程中通入气体；

优选地，所述气体为保护性气体，包括氮气和/或惰性气体；

优选地，所述气体的压力为0.02～0.06MPa。

8.根据权利要求1-7任一项所述的表面处理方法，其特征在于，步骤(3)所述干燥依次包括气枪吹干和真空干燥；

优选地，所述真空干燥的温度为70～100℃，真空干燥的时间为0.5～1.5h；

优选地，所述真空干燥时的真空压力不大于10^-2Pa。

9.根据权利要求1-8任一项所述的表面处理方法，其特征在于，所述金属蒸发料经过表面处理，纯度达到99.99％以上。

10.根据权利要求1-9任一项所述的表面处理方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

(1)将金属蒸发料依次采用清洗油、异丙醇进行超声波清洗，所用超声波的频率为40～100kHz，采用清洗油清洗和采用异丙醇清洗的时间独立地为3～8min，再采用水进行超声波清洗，此时所用超声波的频率为40～80kHz，清洗时间为2～6min；

(2)将步骤(1)超声波清洗后的金属蒸发料进行酸洗，所述酸洗的温度为35～45℃，时间为5～15min，酸洗所用酸洗液为无机混合酸，所述无机混合酸包括硝酸、氢氟酸和硫酸，所述硝酸、氢氟酸和硫酸的摩尔比为1:(2～4):(1.5～3)，无机混合酸的总浓度为4～12mol/L，所述酸洗过程酸洗液中通入保护性气体，所述气体的压力为0.05～0.12MPa；

(3)将步骤(2)酸洗后的金属蒸发料再次采用水进行超声波清洗，所用超声波的频率为40～80kHz，清洗时间为为2～6min，超声波清洗过程中通入保护性气体，气体的压力为0.02～0.06MPa，然后依次进行气枪吹干和真空干燥，所述真空干燥的温度为70～100℃，真空干燥的时间为0.5～1.5h，所得蒸发料纯度达到99.99％以上。