[发明专利]一种太阳能电池片镀膜装置及其使用方法

权利要求书

1.一种太阳能电池片镀膜装置，其特征在于：双层石英管（7）的气体进出口端各自安装有一个法兰（3），气体进口段的法兰（3）上安装有多个带阀门的工艺气体进口管（2），气体出口段的法兰（3）上有连接尾气处理装置（8）的尾气管，双层石英管（7）的气体进口端处安装有多层栅栏板（4），多层栅栏板（4）连接气体混合腔和镀膜腔，镀膜腔的中安装有旋转盘（5），镀膜腔的外侧安装有感应线圈（1），镀膜腔通过管路连接抽真空设备（6），待镀膜的电池片放置在旋转盘（5）中。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片镀膜装置，其特征在于：旋转盘（5）安装在底座固定在太阳能电池片镀膜装置上的电机的输出轴上。

3.一种权利要求1中所述太阳能电池片镀膜装置的使用方法，将待镀膜的硅片放置在旋转盘（5）中，然后使旋转盘（5）开始匀速转动，将工艺气体进口管（2）和尾气管上的阀门关闭，然后打开抽真空设备（6）进行抽真空，抽真空完毕后，关闭抽真空设备（6），开启工艺气体进口管（2）上的阀门，工艺气体通过多层栅栏板（4）稳流后进入镀膜腔，开启尾气管上的阀门，开启尾气处理装置（8），让工艺气体从工艺气体进口管（2）进入从尾气管排出，调整工艺气体进口管（2）和尾气管上的阀门开度，使镀膜腔中的工艺气体含量达到额定要求，然后开启感应线圈（1）开始给硅片镀膜，镀膜达到额定要求后关闭工艺气体进口管（2）中工艺气的阀门，开启工艺气体进口管（2）中氩气阀门，驱除工艺气体后，关闭工艺气体进口管（2）中氩气阀门、尾气处理装置（8）。