[发明专利]一种提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法

权利要求书

1.一种提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法，它包括：

对镀膜腔室内部进行加热并抽真空；

使所述镀膜腔室内部通过微波激发形成离子体；

向所述镀膜腔室内通入反应物，以在输入的硅片表面形成氧化铝薄膜；

其特征在于：

通过等间隔设置的多组U型罩（11）以及与所述U型罩（11）一一配合的多组气路管组向所述镀膜腔室内通入反应物；

每组所述U型罩（11）包括间隔且对应设置的两块侧壁（111）、连接两块所述侧壁（111）对应边部的连接板（112）以及形成在所述侧壁（111）任一边部且朝外倾斜延伸的延展板（113），所述连接板（112）上开设有间隔设置且排列成一排的多个第一反应物通入孔，每块所述延展板（113）上开设有与所述第一反应物通入孔相对应且排列成一排的多个第二反应物通入孔；

每组所述气路管组包括与所述第一反应物通入孔相连的第一反应物气路管（14）以及与所述第二反应物通入孔相连的第二反应物气路管（15）；

多组所述U型罩（11）之间相邻两块延展板（113）的两排所述第二反应物通入孔中，至少有一排所述第二反应物通入孔配合所述第二反应物气路管（15）通入所述第二反应物。

2.根据权利要求1所述提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法，其特征在于：所述第一反应物为N₂O。

3.根据权利要求1所述提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法，其特征在于：所述第二反应物为三甲基铝。

4.根据权利要求1或2或3所述提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法，其特征在于：多组U型罩（11）之间相邻两块延展板（113）的两排所述第二反应物通入孔中，两排所述第二反应物通入孔均配合所述第二反应物气路管（15）通入所述第二反应物。

5.根据权利要求1或2或3所述提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法，其特征在于：多组U型罩（11）之间相邻两块延展板（113）的两排所述第二反应物通入孔中，位于中间所述U型罩（11）上的一排所述第二反应物通入孔配合所述第二反应物气路管（15）通入所述第二反应物。

6.根据权利要求1所述提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法，其特征在于：所述侧壁（111）与所述连接板（112）平滑过渡连接，所述侧壁（111）与所述延展板（113）平滑过渡连接。

7.根据权利要求1或6所述提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法，其特征在于：所述侧壁（111）与所述连接板（112）相垂直，所述侧壁（111）与所述延展板（113）之间的夹角为100~150°。

8.根据权利要求1所述提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法，其特征在于：所述延展板（113）的外侧边还向外弯折形成固定连接部（114），相对应的所述固定连接部（114）和所述侧壁（111）位于所述延展板（113）的同侧。

9.根据权利要求1所述提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法，其特征在于：所述微波激发是采用微波等离子体激发结构实现的。

10.根据权利要求9所述提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法，其特征在于：所述微波等离子体激发结构至少包括设置在所述U型罩（11）中的石英管（12）以及设置于所述石英管（12）内的铜天线（13）。