[发明专利]一种提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法

说明书

本发明涉及一种提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法，它包括：对镀膜腔室内部进行加热并抽真空；使所述镀膜腔室内部通过微波激发形成离子体；向所述镀膜腔室内通入反应物，以在输入的硅片表面形成氧化铝薄膜；通过等间隔设置的多组U型罩以及与所述U型罩一一配合的多组气路管组向所述镀膜腔室内通入反应物。这样能够提高反应气体在U型罩内外侧分布的均匀程度，从而提高电池片中氧化铝薄膜的质量。

技术领域

本发明涉及一种镀膜方法，具体涉及一种镀膜方法，特别是一种提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法。

背景技术

氧化铝薄膜是太阳能电池的表面钝化材料，其含有高密度的固定负电荷，因此在太阳能电池P型层的钝化方面表现优异。

目前，常规的氧化铝薄膜镀膜方法分为两类：原子层沉积和等离子增强化学气相沉积。原子层沉积方法获得的氧化铝薄膜质量高，但镀膜速率慢，不易量产化。等离子增强化学气相沉积是将反应物（三甲基铝蒸气（TMA）和一氧化二氮（N₂O）气体），通过等离子激发反应生成氧化铝；然而等离子增强化学气相沉积获得的氧化铝薄膜质量适中，但是其镀膜速率快，容易实现工业化量产。

在等离子增强化学气相沉积中，现有的三甲基铝和一氧化二氮通气方式，容易在体系中因为外侧没有足够的反应气体而形成质量比较差的膜，从而影响膜层质量，进而影响电池片的效率，最终影响太阳能电池质量的稳定性。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法，能够有效提高太阳能电池片中表面钝化材料（氧化铝薄膜）的质量。

针对上述问题，本发明提供一种提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法，它包括：

对镀膜腔室内部进行加热并抽真空；

使所述镀膜腔室内部通过微波激发形成离子体；

向所述镀膜腔室内通入反应物，以在输入的硅片表面形成氧化铝薄膜；

通过等间隔设置的多组U型罩以及与所述U型罩一一配合的多组气路管组向所述镀膜腔室内通入反应物；

每组所述U型罩包括间隔且对应设置的两块侧壁、连接两块所述侧壁对应边部的连接板以及形成在所述侧壁任一边部且朝外倾斜延伸的延展板，所述连接板上开设有间隔设置且排列成一排的多个第一反应物通入孔，每块所述延展板上开设有与所述第一反应物通入孔相对应且排列成一排的多个第二反应物通入孔；

每组所述气路管组包括与所述第一反应物通入孔相连的第一反应物气路管以及与所述第二反应物通入孔相连的第二反应物气路管；

多组所述U型罩之间相邻两块延展板的两排所述第二反应物通入孔中，至少有一排所述第二反应物通入孔配合所述第二反应物气路管通入所述第二反应物。

优化地，所述第一反应物为N2O，

优化地，所述第二反应物为三甲基铝。

进一步地，多组U型罩之间相邻两块延展板的两排所述第二反应物通入孔中，两排所述第二反应物通入孔均配合所述第二反应物气路管通入所述第二反应物。

进一步地，其特征在于：多组U型罩之间相邻两块延展板的两排所述第二反应物通入孔中，位于中间所述U型罩上的一排所述第二反应物通入孔配合所述第二反应物气路管通入所述第二反应物。

优化地，所述侧壁与所述连接板平滑过渡连接，所述侧壁与所述延展板平滑过渡连接。

进一步地，所述侧壁与所述连接板相垂直，所述侧壁与所述延展板之间的夹角为100~150°。

优化地，所述延展板的外侧边还向外弯折形成固定连接部，相对应的所述固定连接部和所述侧壁位于所述延展板的同侧。