[发明专利]一种吸盘移动机构

权利要求书

1.一种吸盘移动机构,其特征在于：包括龙门架、横移机构和硅片分离移动机构，所述横移机构和硅片分离移动机构设置于龙门架上，所述硅片分离移动机构包括升降装置和硅片吸取分离装置，所述硅片吸取分离装置包括硅片吸取装置、硅片分片装置和移动组件，所述硅片吸取装置用于吸取硅片，所述硅片分片装置用于分离硅片，所述移动组件用于移动硅片吸取装置，所述硅片吸取分离装置用于对硅片的吸取和分离，所述升降装置用于控制硅片吸取分离装置竖直移动，所述横移机构用于控制硅片吸取分离装置水平移动。

2.根据权利要求1所述的一种吸盘移动机构，其特征在于：所述龙门架包括底座，所述底座设置为对称的两组，所述底座上固设有龙门支柱，所述龙门支柱垂直于水平面设置，所述龙门支柱间固设有连接有龙门连柱，所述龙门支柱、底座和龙门连柱形成整体结构，所述龙门连柱上固设有龙门安装板，所述龙门安装板连接横移机构。

3.根据权利要求1所述的一种吸盘移动机构，其特征在于：所述横移机构包括移动装置、定位装置和调整装置，所述移动装置设置于龙门安装板上，所述定位装置设置于移动装置上，所述定位装置用于定位和控制移动装置的位置，所述调整装置用于调整移动装置。

4.根据权利要求1所述的一种吸盘移动机构，其特征在于：所述硅片分离移动机构包括升降装置和硅片吸取分离装置，所述升降装置用于控制硅片吸取分离装置竖直移动，所述硅片吸取分离装置固设于所述升降装置上，所述硅片吸取分离装置包括硅片吸取装置、硅片分片装置和移动组件，所述硅片吸取装置用于吸取硅片，所述硅片分片装置用于分离硅片。

5.根据权利要求4所述的一种吸盘移动机构，其特征在于：所述升降装置包括滚珠丝杆组件、定位组件、限位机构和模组底板，所述滚珠丝杆组件驱动装置移动，所述定位组件用于定位和控制装置的位置，所述限位机构限制设备的移动范围。

6.根据权利要求4所述的一种吸盘移动机构，其特征在于：所述硅片吸取装置包括进气组件、固定组件和吸取组件，所述固定组件包括吸盘端板、吸盘端块以及连接吸盘端板和吸盘端块的连接杆，所述连接杆将吸取组件与固定组件连接，所述吸取组件包括吸盘，所述吸盘上固设有吸取槽，所述进气组件为吸取组件供气，所述吸取组件通过吸取槽吸取硅片。

7.根据权利要求4所述的一种吸盘移动机构，其特征在于：所述硅片分片装置包括吹气组件和固定吹气组件的支架组件，所述吹气组件包括有连通管，所述连通管用于对吹气组件供气，所述支架组件支撑吹气组件，所述吹气组件用于硅片分片。

8.根据权利要求4所述的一种吸盘移动机构，其特征在于：所述移动组件包括导轨安装板，所述导轨安装板下侧固设有滑轨，所述滑轨上滑动设置有移动块，所述移动块下侧固设有顶板，所述顶板下侧与硅片吸取装置固设连接。所述导轨安装板上设置有驱动电机，所述驱动电机输出轴固设连接有转动丝杆，所述转动丝杆上设置有与顶板固设连接的定座，所述驱动电机驱动硅片吸取装置沿滑轨做往复运动。

9.根据权利要求6所述的一种吸盘移动机构，其特征在于：所述进气组件包括吸盘安装板，所述吸盘安装板内设置有开口朝下的通气腔，所述通气腔下侧与固定组件固设连接，所述通气腔一侧连通设置有连管，所述连管与外接真空设备连通，所述外接真空设备为进气组件供能；

所述吸取组件由多组吸盘紧密连接而成，所述吸盘包括固定板和吸取板，所述固定板上固设有连接孔，所述连接孔大小和位置与连接杆腔相配，所述连接杆通过贯穿连接孔将吸取组件固设在固定组件上，所述每组吸盘上的固定板紧密贴合，所述两组吸取板间形成有插槽，设备将硅片吸取进入插槽内。

10.根据权利要求7所述的一种吸盘移动机构，其特征在于：所述支架组件包括风刀连接板，所述风刀连接板固设有风刀连接块，所述风刀连接块上固设有导向轴，所述导向轴两侧固设有连接块，所述连接块与吹气组件固设连接。

所述吹气组件包括与连接块固设连接的风刀板，所述风刀板内固设有气流腔，所述气流腔上固设有连孔，所述连孔连通设置有二通管，所述连孔连通设置有位于气流腔内的对腔，所述风刀板内固设有与气流腔连通设置的喷腔，所述喷腔设置为内凹型结构，所述对腔、气流腔和喷腔组成气路通道，所述风刀板下侧固设有风刀底板。