[发明专利]一种粗品六氟化硫的纯化方法

权利要求书

1.一种粗品六氟化硫的纯化方法，其特征在于，包括以下步骤：

裂解除杂：将所述粗品六氟化硫通入裂解塔中进行热解处理，将所述粗品六氟化硫中的S₂F₁₀气体分解为SF₆和SF₄；

水洗除杂：将经过裂解除杂步骤处理后的混合气体通入水洗塔进行水洗，除去所述混合气体中的氟气、低硫氟化物、亚硫酰氟化物，得到一级纯化六氟化硫气体，水洗塔包括依次相连的一级水洗塔、二级水洗塔、三级水洗塔、四级水洗塔、五级水洗塔和六级水洗塔，经过步骤S3处理后的混合气体依次经过一级水洗塔、二级水洗塔、三级水洗塔、四级水洗塔、五级水洗塔和六级水洗塔水洗，每天对各级水洗塔进行取样分析，当检测结果一级水洗塔的有水氢氟酸的质量浓度≥50％时，及时将所述一级水洗塔内的氢氟酸倒入储酸槽，随后依次将二级水洗塔内氢氟酸倒入一级水洗塔，将三级水洗塔内氢氟酸倒入二级水洗塔，以此类推，在最后1级即六级水洗塔内注入清水；

碱洗除杂：将水洗除杂步骤得到的所述一级纯化六氟化硫气体通入碱洗塔进行碱洗，除去所述一级纯化六氟化硫气体中的HF、CO₂、SO₂气体，得到二级纯化六氟化硫气体；

低压吸附：将碱洗除杂步骤得到的所述二级纯化六氟化硫气体通入低压吸附塔中吸附，去除微量水分和酸性物质，得到三级纯化六氟化硫气体；

高压吸附：将低压吸附步骤得到所述三级纯化六氟化硫气体通入高压吸附塔中吸附，吸附其中的微量的S₂OF₁₀、SO₂F₂、SOF₂、SOF₄低硫氟氧化物以及微量HF、H₂O，得到四级纯化六氟化硫气体；

精馏除杂：将所述四级纯化六氟化硫气体通入精馏系统，得到高纯六氟化硫。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：

所述碱洗除杂步骤中的碱洗塔包括依次相连的一级碱洗塔、二级碱洗塔、三级碱洗塔、四级碱洗塔、五级碱洗塔和六级碱洗塔，从所述六级水洗塔出来的一级纯化六氟化硫气体进入所述一级碱洗塔中，然后依次进入所述二级碱洗塔、所述三级碱洗塔、所述四级碱洗塔、所述五级碱洗塔和所述六级碱洗塔进行碱洗除杂，每一级碱洗塔中均装有氢氧化钾溶液作为淋洗介质，每天对各级碱洗塔进行取样分析，当检测结果一级碱洗塔中氢氧化钾的浓度≤49mg/L时，及时将一级碱洗塔内的废碱液转移至碱液收集槽，使用低成本的生石灰处理后回用，随后依次将二级碱洗塔内碱倒入一级碱洗塔，将三级碱洗塔内酸倒入二级碱洗塔，以此类推，在最后1级即六级碱洗塔内注入配好的相应浓度的氢氧化钾溶液。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：

向所述六级碱洗塔内注入的氢氧化钾溶液的浓度为350mg/L。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：

在所述低压吸附塔和所述高压吸附塔之间还设置有气柜或气袋，在所述气柜或气袋内增压后的气体进入高压吸附塔中。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：

所述低压吸附塔内的压力控制在20KPa以内，低压吸附塔的吸附剂为活性炭。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：

所述高压吸附塔的压力控制在1.4MPa至1.8MPa，高压吸附塔的吸附剂为活性炭和分子筛。

7.根据权利要求1至6任一项所述的制备方法，其特征在于：

所述精馏系统包括高沸精馏塔、一级低沸精馏塔、二级低沸精馏塔、高沸回收精馏塔和低沸回收精馏塔，其中高沸精馏塔与高沸回收精馏塔连接，一级低沸精馏塔和二级低沸精馏塔均与低沸回收精馏塔连接。