[发明专利]一种测量恒温密闭容器内液位的设备、镀膜装置、测量液位的方法

权利要求书

1.一种测量恒温密闭容器内部液位的方法，密闭容器与前端管路、出气端管路连通，前端管路(1)，在前端管路(1)上依次设置有第一气动阀(2)、第二气动阀(3)，出气端管路上设置有第三气动阀(6)，在第三气动阀(6)和密闭容器(7)之间设置第四气动阀(5)，用于测量密闭容器中压力的压力计(8)，其特征在于，包括如下步骤：

A对无液体的密闭容器(7)进行抽真空，将所有的不影响压力计(8)与密闭容器(7)连通的阀门改为关闭状态，稳定后压力计(8)测得密闭容器(7)内压力为P_空0；

B继步骤A，仅打开第一气动阀(2)，向前端管路(1)注入载气，等待时间t后，关闭第一气动阀(2)，然后打开第二气动阀(3)，压力计(8)测得压力为P_空1；步骤B与步骤A中的压力计差值为：ΔP_空＝P_空1-P_空0；

D在待测的同款密闭容器上，进行抽真空，将所有的不影响压力计(8)与密闭容器(7)连通的阀门改为关闭状态，稳定后压力计(8)测得压力为P_x-1；

E继步骤D，仅打开第一气动阀(2)，向前端管路(1)注入载气，载气的压力与步骤B中的注气压力相同，关闭第一气动阀(2)，然后打开第二气动阀(3)，压力计(8)测得压力为P_x；步骤E与步骤D中的压力计差值为：ΔP_x＝P_x-P_x-1；

G液位百分比为：

2.根据权利要求1所述的测量恒温密闭容器内部液位的方法，其特征在于，步骤A及步骤D中，密闭容器(7)内每分钟压力变化≤5％后进行气压计量。

3.根据权利要求1所述的测量恒温密闭容器内部液位的方法，其特征在于，在步骤B后可以增加步骤C，步骤C操作如下：关闭第二气动阀(3)，打开第一气动阀(2)，向前端管路(1)注入载气，载气的压力为步骤B注入载气的压力值相同，等待时间t后，关闭第一气动阀(2)，然后打开第二气动阀(3)，压力计(8)测得压力值为P_空2；步骤C与步骤B中的压力计差值为：ΔP_空2＝P_空2-P_空1；步骤C可以进行一次或多次，测量多个压力计差值，后得到平均值，代入步骤G中的公式。

4.根据权利要求1或3所述的测量恒温密闭容器内部液位的方法，其特征在于，在步骤E后可以增加步骤F，步骤F操作如下：关闭第二气动阀(3)，打开第一气动阀(2)，向前端管路(1)注入载气，载气的压力同步骤B中的注气压力定值，等待时间t后，关闭第一气动阀(2)，然后打开第二气动阀(3)，压力计(8)测得压力值为P_x+1；步骤F与步骤E中的压力计差值为：ΔP_x+1＝P_x+1-P_x；步骤F可以进行一次或多次，测量多个压力差值，后得到平均值，代入步骤G中的公式。

5.一种用于实现如权利要求1-4任一项权利要求所述的测量恒温密闭容器内部液位的方法的设备，其特征在于，包括：

前端管路(1)，在前端管路(1)上依次设置有第一气动阀(2)、第二气动阀(3)；

第一减压阀(11)，设置在第一气动阀(2)之前；

出气端管路(4)，在出气端管路上设置有第三气动阀(6)；

第四气动阀(5)，设置在第三气动阀(6)和密闭容器(7)之间；

密闭容器(7)，与前端管路(1)靠近第二气动阀(3)的一端相连通，同时与出气端管路(4)上靠近第三气动阀(6)的一端相连通；

压力计(8)，设置于第三气动阀(6)与密闭容器(7 )之间的出气端管路(4)上或第一气动阀(2)与密闭容器(7)之间的前端管路(1)上或密闭容器(7)上，测量密闭容器(7)中的压力；

真空泵(13)，与密闭容器(7)连通。

6.一种镀膜装置，其特征在于，包括权利要求5所述的设备，真空腔(12)，权利要求5所述的测量恒温密闭容器内部 液位的设备、真空腔(12)和所述的真空泵(13)依次连通。