[发明专利]一种测量恒温密闭容器内液位的设备、镀膜装置、测量液位的方法

说明书

本发明涉及机械设备领域，具体涉及一种测量恒温密闭容器内液位的设备、镀膜装置、测量液位的方法，包括前端管路，在前端管路上依次设置有第一气动阀、第二气动阀；出气端管路，在出气端管路上依次设置有第三气动阀、第四气动阀；密闭容器，与前端管路末端相连，与出气端管路上靠近第三气动阀的一端相连；压力计，设置于出气端管路上或前端管路上或密闭容器上；真空排气装置，与密闭容器连通。采用本发明的设备及测量方法，可实时、快速、准确地测量小直径的真空容器内的液位，运行可靠稳定，不会有泄漏的风险。

技术领域

本发明涉及机械设备领域，具体涉及一种测量恒温密闭容器内液位的设备、镀膜装置、测量液位的方法。

背景技术

针对不透明的化学密闭容器液位的测量，目前主要的方法分为内置和外置两种方法，内置的方法需要将测量装置内置到密闭容器内部，容易使密闭容器内的物质受到污染；而外置的方法主要有超声波测量方法和称重方法。但是对于小直径的密闭容器，超声波测量易受干扰，而称重则要求密闭容器上方的连接为软连接，对于如TMA这样的工艺化学源，长时间使用软管存在泄漏风险。

在真空镀膜领域，往往所使用的密闭容器体积较小，因此急需一种不污染密闭容器内化学源的同时快速测量液位的方法和设备。

发明内容

本发明的目的在于提供一种测量恒温密闭容器内液位的设备、镀膜装置、测量液位的方法，使用该测量设备和方法可以准确、快速测量真空负压密闭容器的液位，不会污染被测量容器内的物质，不会有泄漏的风险。

本发明主要采用如下具体方案：

一种测量恒温密闭容器内液位的设备，包括：

前端管路，在前端管路上依次设置有第一气动阀、第二气动阀；

出气端管路，在出气端管路上设置有第三气动阀；第三气动阀可以限制气体被抽走,使后面操作的过程可以让压力计稳定间接测量密闭容器内压力。

密闭容器，与前端管路靠近第二气动阀的一端相连通，同时与出气端管路上靠近第三气动阀的一端相连通；

压力计，设置于第三气动阀与密闭容器之间的出气端管路上或第一气动阀与密闭容器之间的前端管路上或密闭容器上，测量密闭容器中的压力；

真空排气装置，与密闭容器连通。真空排气装置可以直接与密闭容器相连，也可以设置在出气端管路上，还可以设置在进气端管路上，只要能够达到与密闭容器连通即可。

优选的，出气端管路上的第三气动阀和密闭容器之间还设置有第四气动阀，所述的压力计设置在出气端管路上，位于第三气动阀和第四气动阀之间。设置第四气动阀可以进一步保证密闭容器的安全和稳定。

优选的，所述的第二气动阀与密闭容器之间的前端管路上还设置有第一手动阀。设置手动阀的原因是为了密闭容器拆装时的安全。

优选的，所述的第三气动阀与密闭容器之间的出气端管路上还设置有第二手动阀。设置手动阀的原因是为了密闭容器拆装时的安全。

优选的，在所述的前端管路上的第一气动阀之前设置有减压阀。减压阀主要用来调节进气压力，也可以叫调压阀。

优选的，所述的真空排气装置为真空泵。

一种使用上述设备测量恒温密闭容器内部液位的方法，包括如下步骤：

A原始状态时，密闭容器内部无液体，进行抽真空，密闭容器内每分钟压力的变化≤5％后，将所有的不影响压力计与密闭容器连通的阀门改为关闭状态，此时压力计测得压力为P_空0；此处所述的“压力计每分钟的变化值≤5％”指的是压力计前一分钟的值为P_测0，压力计后一分钟的值为P_测1，当(P_测0-P_测1)/P_测1的值≤5％。