[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置在审
| 申请号： | 202010365271.2 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111549318A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 黄永振 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 刘葛 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 装置 | ||
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括：
坩埚本体，具有用于容纳蒸镀材料的容置腔，且所述坩埚本体开设有蒸镀出口，所述蒸镀出口与所述容置腔连通；
阻挡组件，可拆卸地安装于容置腔内，所述阻挡组件包括沿所述容置腔的轴向方向间隔设置的至少一个第一阻挡片及至少一个第二阻挡片；
所述第一阻挡片设有第一流通部，所述第二阻挡片沿所述容置腔的轴向方向在所述第一阻挡片的正投影覆盖所述第一流通部；
所述第二阻挡片与所述容置腔的内壁之间具有间隙。
2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述至少一个第一阻挡片及所述至少一个第二阻挡片沿所述容置腔的轴向方向交替间隔设置。
3.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一阻挡片的周向侧壁与所述容置腔的内壁相接触。
4.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一阻挡片还包括围绕所述第一流通部的第一阻挡部；
最远离所述蒸镀出口的所述第一阻挡部沿所述容置腔的轴向方向朝向所述蒸镀出口倾斜延伸，并与所述第一流通部相连；和/或，
最靠近所述蒸镀出口所述第一阻挡部沿所述容置腔的轴向方向背离所述蒸镀出口倾斜延伸，并与所述第一流通部相连。
5.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第一流通部包括至少一个第一通孔；
优选地，所述第一流通部包括多个第一通孔，所述多个第一通孔呈阵列排布。
6.根据权利要求5所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述阻挡组件还包括网格件，所述网格件设置于至少一个所述第一通孔内。
7.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第二阻挡片具有朝向所述蒸镀出口的凹部。
8.根据权利要求1或7所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述第二阻挡片朝向所述蒸镀出口的一侧表面设有所述凹部；或者所述第二阻挡片沿远离所述蒸镀出口的方向凹陷形成所述凹部。
9.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述阻挡组件还包括悬挂件，所述至少一个第一阻挡片及所述至少一个第二阻挡片固定于所述悬挂件，所述悬挂件可悬挂于所述坩埚本体的所述蒸镀出口处。
10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括如权利要求1～9所述的蒸镀坩埚。
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