[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置

说明书

本发明涉及一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。蒸镀坩埚包括坩埚本体及阻挡组件，阻挡组件可拆卸地安装于容置腔内，阻挡组件包括沿容置腔的轴向方向间隔设置的至少一个第一阻挡片及至少一个第二阻挡片；第一阻挡片设有第一流通部，第二阻挡片沿容置腔的轴向方向在第一阻挡片的正投影覆盖第一流通部；第二阻挡片与容置腔的内壁之间具有间隙。本发明提供的蒸镀坩埚及蒸镀装置，第一流通部及间隙连通形成蒸镀材料的流通路径，并且利用第一阻挡片及第二阻挡片，阻挡的大部分颗粒物质喷溅及氧化物颗粒排出的同时也将颗粒物质喷溅及氧化物颗粒收集至第一阻挡片上，提高了产品良率且方便清理。

技术领域

本发明涉及显示屏制造技术领域，特别是涉及一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。

背景技术

OLED(OLED，Organic Light-Emitting Diode)器件主要包括金属膜层和有机膜层，通常采用真空热蒸镀的方式将金属材料或有机材料沉积至背板上形成，工艺上一般会采用蒸镀坩埚对金属材料或有机材料进行蒸镀，但是采用现有技术中的蒸镀坩埚蒸镀出的产品的良率较低。

发明内容

基于此，本发明提供一种改善上述问题的蒸镀坩埚及蒸镀装置，能有效改善产品良率低的问题。

根据本申请的一个方面，提供一种蒸镀坩埚，包括：

坩埚本体，具有用于容纳蒸镀材料的容置腔，且所述坩埚本体开设有蒸镀出口，所述蒸镀出口与所述容置腔连通；

阻挡组件，可拆卸地安装于容置腔内，所述阻挡组件包括沿所述容置腔的轴向方向间隔设置的至少一个第一阻挡片及至少一个第二阻挡片；

所述第一阻挡片设有第一流通部，所述第二阻挡片沿所述容置腔的轴向方向在所述第一阻挡片的正投影覆盖所述第一流通部；

所述第二阻挡片与所述容置腔的内壁之间具有间隙。

在一实施例中，所述至少一个第一阻挡片及所述至少一个第二阻挡片沿所述容置腔的轴向方向交替间隔设置。

在一实施例中，所述第一阻挡片的周向侧壁与所述容置腔的内壁相接触。可防止部分颗粒物质喷溅及氧化物颗粒从第一阻挡片与容置腔之间的间隙流出至蒸镀出口排出。

在一实施例中，所述第一阻挡片还包括围绕所述第一流通部的第一阻挡部；

最远离所述蒸镀出口的所述第一阻挡部沿所述容置腔的轴向方向朝向所述蒸镀出口倾斜延伸，并与所述第一流通部相连；和/或，最靠近所述蒸镀出口所述第一阻挡部沿所述容置腔的轴向方向背离所述蒸镀出口倾斜延伸，并与所述第一流通部相连。充分地阻挡颗粒物质喷溅及氧化物颗粒的流出，并避免颗粒物质喷溅及氧化物颗粒回落至容置腔内与蒸镀材料混合。

在一实施例中，所述第一流通部包括至少一个第一通孔；优选地，所述第一流通部包括多个第一通孔，所述多个第一通孔呈阵列排布。提供了第一流通部的多种可实施方式。

在一实施例中，所述阻挡组件还包括网格件，所述网格件设置于至少一个所述第一通孔内。提供了第一流通部的多种可实施方式。

在一实施例中，所述第二阻挡片具有朝向所述蒸镀出口的凹部。

在一实施例中，所述第二阻挡片朝向所述蒸镀出口的一侧表面设有所述凹部；或者所述第二阻挡片沿远离所述蒸镀出口的方向凹陷形成所述凹部。当颗粒物质喷溅及氧化物颗粒落至第二阻挡片的凹部后，颗粒物质喷溅及氧化物颗粒运动轨迹受限于凹部而不易逃离，提高了第二阻挡片的阻挡效果。

在一实施例中，所述阻挡组件还包括悬挂件，所述至少一个第一阻挡片及至少一个第二阻挡片固定于所述悬挂件，所述悬挂件可悬挂于所述坩埚本体的所述蒸镀出口处。方便从容置腔取出阻挡组件，也方便将阻挡组件安装至容置腔。

根据本申请的另一个方面，还提供一种蒸镀装置，包括上述的蒸镀坩埚。