[发明专利]一种晶圆搬运装置及晶圆减薄设备

权利要求书

1.一种晶圆搬运装置，包括吸盘组件，其特征在于，所述吸盘组件的中心部位设置有盘面朝下的真空吸盘，所述真空吸盘用于吸附晶圆的中心位置，且所述真空吸盘的盘面面积不大于待吸附晶圆表面面积的四分之一。

2.根据权利要求1所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述吸盘组件还包括安装本体，所述安装本体具有向下开口的安装腔，所述真空吸盘设置在所述安装腔内，所述安装本体的下表面围绕所述真空吸盘设置有多个柔性压条。

3.根据权利要求2所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述安装腔为圆形腔，所述安装腔与所述真空吸盘同轴设置。

4.根据权利要求2或3所述的晶圆搬运装置，其特征在于，多个所述柔性压条同轴设置。

5.根据权利要求4所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述柔性压条为防静电橡胶压条。

6.根据权利要求5所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述安装本体上设置有多个减重孔。

7.根据权利要求2所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述安装本体上滑动插接有导向杆，所述真空吸盘固定设置于所述导向杆的下端，所述导向杆的下端具有第一定位面，所述第一定位面与所述安装本体之间设置有压簧。

8.根据权利要求7所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述导向杆内设置有通气道，所述吸盘的盘面上设置有多个真空腔，每个所述真空腔内均设置至少一个吸气孔，且所述吸气孔均连通于所述通气道。

9.根据权利要求8所述的晶圆搬运装置，其特征在于，所述安装本体上同轴设置有导向套，所述导向杆滑动设置在所述导向套内，所述导向套的上部设置有第二定位面，所述第二定位面与所述导向套为止脱配合。

10.一种晶圆减薄设备，其特征在于，包括机械手臂，所述机械手臂的端部设置有如权利要求1-9任一所述的晶圆搬运装置。