[发明专利]光学检测设备、光学检测设备的控制方法及存储介质

权利要求书

1.一种光学检测设备，其特征在于，包括：

运动台，用于带动检验品沿第一方向运动；

离焦测量单元，设于所述运动台的正上方，用于采集检验品表面的至少两个不同检测位置处的离焦量，其中，该至少两个不同检测位置处沿第二方向分布，所述第一方向与第二方向垂直；

摄像单元，设于所述运动台的正上方，用于采集所述至少两个不同检测位置处的图像，其中，该至少两个不同检测位置处位于同一图像中；

图像处理装置，用于执行所述至少两个不同检测位置处的图像的焦深修正和焦深修正后的图像的缺陷识别；

控制器，用于控制所述离焦测量单元采集所述检验品表面的至少两个不同检测位置处的离焦量；控制所述运动台带动所述检验品沿所述第一方向运动，至该至少两个不同检测位置处到达摄像单元下方时，根据该至少两个不同检测位置处的离焦量完成所述运动台的高度调整，同时控制所述摄像单元采集该至少两个不同检测位置处的图像，以及控制所述图像处理装置根据该至少两个不同检测位置处对应的离焦量和运动台的高度调整值，将图像中的所述至少两个检测位置处的离焦量与对应的运动台的高度调整值的差值作为每个检测位置处的图像的修正离焦量，根据所述修正离焦量和点扩散函数完成该至少两个不同检测位置处的图像的焦深修正得到焦深修正后的图像，以及完成焦深修正后的图像的缺陷识别；

所述运动台带动所述检验品的所述至少两个不同检测位置处到达所述摄像单元下方时，所述控制器根据该至少两个不同检测位置处的离焦量的均值完成所述运动台的高度调整。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述离焦测量单元和所述摄像单元沿所述第一方向离散分布；所述离焦测量单元包括沿所述第二方向离散分布的至少两个检测探头，所述至少两个检测探头用于采集所述检验品表面的至少两个不同检测位置处的离焦量。

3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述图像处理装置包括：

第一图像处理装置，用于根据该至少两个不同检测位置处的离焦量与该至少两个离焦量对应的运动台的高度调整值，完成该至少两个不同检测位置处的图像的焦深修正；

第二图像处理装置，用于完成焦深修正后的图像的缺陷识别。

4.一种光学检测设备的控制方法，其特征在于，应用于权利要求1-3所述的光学检测设备的控制器，包括：

控制离焦测量单元采集检验品表面的至少两个不同检测位置处的离焦量；控制运动台带动检验品沿第一方向运动，至该至少两个不同检测位置处到达摄像单元下方时，根据该至少两个不同检测位置处的离焦量完成所述运动台的高度调整，同时控制所述摄像单元采集该至少两个不同检测位置处的图像，其中，该至少两个不同检测位置处沿第二方向分布并位于同一图像中，所述第一方向与所述第二方向垂直；

控制所述图像处理装置根据该至少两个不同检测位置处对应的离焦量和运动台的高度调整值，将图像中的所述至少两个检测位置处的离焦量与对应的运动台的高度调整值的差值作为每个检测位置处的图像的修正离焦量，根据所述修正离焦量和点扩散函数完成该至少两个不同检测位置处的图像的焦深修正以得到焦深修正后的图像，以及完成焦深修正后的图像的缺陷识别；

所述控制器控制运动台带动检验品的该至少两个不同检测位置处到达所述摄像单元下方时，根据该至少两个不同检测位置处的离焦量的均值完成所述运动台的高度调整量。

5.一种包含计算机可执行指令的存储介质，其特征在于，所述计算机可执行指令在由计算机处理器执行时用于执行如权利要求4中所述的光学检测设备的控制方法。