[发明专利]光学检测设备、光学检测设备的控制方法及存储介质

说明书

本发明实施例公开了一种光学检测设备、光学检测设备的控制方法及存储介质，该设备包括：运动台、离焦测量单元、摄像单元和图像处理装置，控制器用于控制离焦测量单元采集检验品表面的至少两个不同检测位置处的离焦量；控制运动台带动检验品的该至少两个不同检测位置处到达摄像单元下方时，根据该至少两个不同检测位置处的离焦量完成运动台的高度调整，同时控制摄像单元采集该至少两个不同检测位置处的图像；控制图像处理装置根据该至少两个不同检测位置处对应的离焦量和运动台的高度调整值，完成该至少两个不同检测位置处的图像的焦深修正，以及完成焦深修正后的图像的缺陷识别。解决了现有光学检测设备存在检验品的缺陷识别准确率较低的问题。

技术领域

本发明实施例涉及光学检测领域，尤其涉及一种光学检测设备、光学检测设备的控制方法及存储介质。

背景技术

自动光学检测(Automatic Optical Inspection，简称AOI)设备可实现晶圆、芯片或其他待测对象的快速、高精度、无损伤检测，被广泛地应用于PCB(Printed CircuitBoard，简称PCB，印制电路板)、IC芯片(Integrated Circuit Chip)、LED(Light EmittingDiode，简称LED，发光二极管)、TFT(Thin Film Transistor，简称TFT，薄膜场效应晶体管)以及太阳能面板等多个领域。在TFT等液晶面板制造行业，由于基底尺寸很大，为了保障光学检测设备的检出速度，就需要多头摄像单元同时检测。同时随着面板行业对于缺陷检出精度要求的不断提升，对于摄像单元的成像分辨率也越来越严格，摄像单元成像焦深也越来越小。

由于光学检测设备在检测缺陷时存在离焦问题，使得摄像单元采集的图像质量较低，从而导致缺陷识别准确率较低，甚至出现大量检验品的误判的情况。针对此问题，目前主要是通过提升摄像单元镜头的焦面调整精度和调节速度来解决。但随着检测镜头焦深的逐渐减小，对焦面调整精度的要求越来越高，这极大地提高了光学检测设备的制造成本，而且检验品的缺陷识别准确率并未有明显的提高。

综上，现有光学检测设备存在检验品的缺陷识别准确率无法满足用户需求的问题。

发明内容

本发明实施例提供了一种光学检测设备、光学检测设备的控制方法及存储介质，解决了现有光学检测设备存在检验品的缺陷识别准确率无法满足用户需求的问题。

第一方面，本发明实施例提供了一种光学检测设备，包括：

运动台，用于带动检验品沿第一方向运动；

离焦测量单元，设于所述运动台的正上方，用于采集检验品表面的至少两个不同检测位置处离焦量，其中，该至少两个不同检测位置处沿第二方向分布，所述第一方向与第二方向垂直；

摄像单元，设于所述运动台的正上方，用于采集所述至少两个不同检测位置处的图像，其中，该至少两个不同检测位置处位于同一图像中；

图像处理装置，用于执行所述至少两个不同检测位置处的图像的焦深修正和焦深修正后的图像的缺陷识别；

控制器，用于控制所述离焦测量单元采集所述检验品表面的至少两个不同检测位置处的离焦量；控制所述运动台带动所述检验品沿所述第一方向运动，至该至少两个不同检测位置处到达摄像单元下方时，根据该至少两个不同检测位置处的离焦量完成所述运动台的高度调整，同时控制所述摄像单元采集该至少两个不同检测位置处的图像，以及控制所述图像处理装置根据该至少两个不同检测位置处对应的离焦量和运动台的高度调整值，完成该至少两个不同检测位置处的图像的焦深修正，以及完成焦深修正后的图像的缺陷识别。

第二方面，本发明实施例还提供了一种光学检测设备的控制方法，应用于该光学检测设备的控制器，包括：