[发明专利]一种准分子激光器绝对波长校准方法

权利要求书

1.一种准分子激光器绝对波长校准方法，其特征在于，包括以下步骤：

在扫描区间Δλ1内进行连续式扫描，其中包括：以理论峰值波长为中心，在扫描区间Δλ1内进行连续式扫描，获取第一扫描波长数据；

利用所述第一扫描波长数据确定粗略峰值波长λp1，其中包括：对所述第一扫描波长数据进行整体寻峰算法处理，得到所述粗略峰值波长λp1；

在扫描区间Δλ2内进行步进式扫描，其中包括：以λp1为中心，在扫描区间Δλ2内进行步进式扫描，获取第二扫描波长数据；

利用所述第二扫描波长数据确定精确峰值波长λp2，其中包括：对所述第二扫描波长数据进行单区间寻峰算法处理，得到峰值波长平均值，作为所述精确峰值波长λp2；

通过连续式扫描和步进式扫描对准分子激光器绝对波长进行校准；其中，Δλ2＜＜Δλ1。

2.根据权利要求1所述的准分子激光器绝对波长校准方法，其特征在于，在连续式扫描过程中波长调节模块以一定的速度进行连续转动。

3.根据权利要求1所述的准分子激光器绝对波长校准方法，其特征在于，在步进式扫描过程中波长调节模块以最小速度进行步进式转动。

4.根据权利要求1所述的准分子激光器绝对波长校准方法，其特征在于，在步进式扫描过程中采用多次往复扫描或单次扫描。