[发明专利]一种准分子激光器绝对波长校准方法

说明书

本公开提供了一种准分子激光器绝对波长校准方法，包括以下步骤：在扫描区间Δλ1内进行连续式扫描；在扫描区间Δλ2内进行步进式扫描；通过连续式扫描和步进式扫描对准分子激光器绝对波长进行校准；其中，Δλ2＜＜Δλ1。本公开采用连续式扫描和步进式扫描相结合的方式，既能在波长偏移较大时进行大范围的峰值扫描，确保能够找到吸收峰位置，又能在吸收峰附近小范围内进行精确扫描，提高了绝对波长校准的精度。

技术领域

本公开涉及激光技术领域，具体涉及一种高精度准分子激光器绝对波长校准方法。

背景技术

准分子激光器波长的精确控制是集成电路芯片制备中的重要技术之一，中心波长是准分子激光器的关键参数，其能够影响后续照明成像系统的成像质量及最终光刻分辨率节点。准分子激光器在长时间的使用过程中，由于受到温度、机械应力等外界因素的影响，中心波长会出现漂移现象。为了提高波长精度、减小外因对中心波长的影响，绝对波长校准是一项重要的技术途径。

绝对波长校准是指提供一条或多条高稳定性、高精度的已知波长作为绝对波长用于校准波长测量控制系统的误差，现有技术在对248nm的KrF激光器和193nm的ArF激光器波长校准中提到利用具有一条或多条吸收线的元素空心阴极灯进行校准，例如ArF激光器利用Pt空心阴极灯的的吸收线193.2243nm或者193.4369nm进行波长校准，而KrF激光器利用Fe空心阴极灯的248.3271nm或者248.4187nm进行校准。

但是，由于受激光器本身因素，如频率、能量稳定性以及探测器件响应、元素灯稳定性等综合影响，参考中心波长位置严重抖动，使得绝对波长校准精度不高。此外，现有单一快速连续式扫描速度快但精度无法满足要求，而单一步进式区间扫描精度高但速度慢且区间太小容易造成扫描不到吸收峰。

发明内容

(一)要解决的技术问题

鉴于上述问题，本公开的主要目的在于提供一种高精度准分子激光器绝对波长校准方法，以便解决上述问题的至少之一。

(二)技术方案

为了达到上述目的，作为本公开的一个方面，提供了一种准分子激光器绝对波长校准方法，包括以下步骤：

在扫描区间Δλ1内进行连续式扫描；

在扫描区间Δλ2内进行步进式扫描；

通过连续式扫描和步进式扫描对准分子激光器绝对波长进行校准；其中，Δλ2＜＜Δλ1。

进一步的，所述在扫描区间Δλ1内进行连续式扫描包括：以理论峰值波长为中心，在扫描区间Δλ1内进行连续式扫描，获取第一扫描波长数据。

进一步的，在扫描区间Δλ1内进行连续式扫描之后、且在扫描区间Δλ2内进行步进式扫描之前，还包括：利用所述第一扫描波长数据确定粗略峰值波长λp1。

进一步的，所述在扫描区间Δλ2内进行步进式扫描包括：以λp1为中心，在扫描区间Δλ2内进行步进式扫描，获取第二扫描波长数据。

进一步的，在扫描区间Δλ2内进行步进式扫描之后、且在通过连续式扫描和步进式扫描对准分子激光器绝对波长进行校准之前，还包括：利用所述第二扫描波长数据确定精确峰值波长λp2。

进一步的，利用所述第一扫描波长数据确定粗略峰值波长λp1包括：对所述第一扫描波长数据进行整体寻峰算法处理，得到所述粗略峰值波长λp1。

进一步的，利用所述第二扫描波长数据确定精确峰值波长λp2包括：对所述第二扫描波长数据进行单区间寻峰算法处理，得到峰值波长平均值，作为所述精确峰值波长λp2。

进一步的，在连续式扫描过程中波长调节模块以一定的速度进行连续转动。

进一步的，在步进式扫描过程中波长调节模块以最小速度进行步进式转动。