[发明专利]等离子体处理装置、温度控制方法以及记录介质

权利要求书

1.一种等离子体处理装置，具有：

载置台，其设置有加热器，该加热器能够调整用于载置作为等离子体处理的对象的被处理体的载置面的温度；

加热器控制部，其控制针对所述加热器的供给电力，以使所述加热器成为设定的设定温度；

测量部，通过所述加热器控制部来控制针对所述加热器的供给电力以使所述加热器的温度固定，所述测量部测量过渡状态和第二稳定状态下的供给电力，所述过渡状态为从等离子体点火后针对所述加热器的供给电力稳定了的第一稳定状态转变为等离子体熄火的状态之后的针对所述加热器的供给电力增加的状态，所述第二稳定状态为等离子体熄火且针对所述加热器的供给电力稳定了的状态；

参数计算部，其使用由所述测量部测量出的所述过渡状态和所述第二稳定状态的供给电力，对以来自等离子体的热输入量以及被处理体与所述加热器间的热阻为参数来计算所述过渡状态的供给电力的计算模型进行拟合，来计算所述热输入量和所述热阻；以及

温度计算部，其使用由所述参数计算部计算出的所述热输入量和所述热阻，来计算所述第一稳定状态下的所述被处理体的温度。

2.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于，

所述载置台针对将所述载置面进行分割所得的每个区域单独地设置所述加热器，

所述加热器控制部针对每个所述加热器控制供给电力，以使针对每个区域设置的所述加热器成为针对每个区域设定的设定温度，

通过所述加热器控制部针对每个所述加热器控制供给电力以使温度成为固定，所述测量部针对每个所述加热器测量所述过渡状态和所述第二稳定状态下的供给电力，

所述参数计算部针对每个所述加热器，使用由所述测量部测量出的所述过渡状态和所述第二稳定状态的供给电力对所述计算模型进行拟合，来计算所述热输入量和所述热阻，

所述温度计算部针对每个所述加热器，使用由所述参数计算部计算出的所述热输入量和所述热阻来计算所述第一稳定状态下的所述被处理体的温度。

3.根据权利要求1或2所述的等离子体处理装置，其特征在于，

所述测量部以规定的循环测量所述过渡状态和所述第二稳定状态下的供给电力，

所述参数计算部针对每个所述规定的循环，使用测量出的所述过渡状态和所述第二稳定状态的供给电力分别计算所述热输入量和所述热阻，

所述等离子体处理装置还具有输出控制部，所述输出控制部基于由所述参数计算部计算出的所述热输入量和所述热阻中的至少一方的变化来进行输出警报的控制。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的等离子体处理装置，其特征在于，

所述温度计算部使用由所述参数计算部计算出的所述热输入量和所述热阻来计算在所述第一稳定状态下使被处理体成为目标温度的所述加热器的设定温度，并将所述加热器控制部的设定温度修正为计算出的设定温度。

5.一种温度控制方法，其特征在于，执行以下处理：

控制针对加热器的供给电力以使所述加热器的温度成为设定的设定温度，并且测量过渡状态和第二稳定状态下的供给电力，所述加热器设置于载置台并能够调整用于载置作为等离子体处理的对象的被处理体的载置面的温度，所述过渡状态为从等离子体点火后针对所述加热器的供给电力稳定了的第一稳定状态转变为等离子体熄火的状态之后的针对所述加热器的供给电力增加的状态，所述第二稳定状态为等离子体熄火且针对所述加热器的供给电力稳定了的状态，

使用测量出的所述过渡状态和所述第二稳定状态的供给电力对以来自等离子体的热输入量以及被处理体与所述加热器间的热阻为参数来计算所述过渡状态的供给电力的计算模型进行拟合，来计算所述热输入量和所述热阻，

使用计算出的所述热输入量和所述热阻来计算所述第一稳定状态下的所述被处理体的温度。

6.一种记录介质，存储有温度控制程序，所述记录介质的特征在于，所述温度控制程序用于执行以下处理：

控制针对加热器的供给电力以使所述加热器的温度成为设定的设定温度，并且测量过渡状态和第二稳定状态下的供给电力，所述加热器设置于载置台并能够调整用于载置作为等离子体处理的对象的被处理体的载置面的温度，所述过渡状态为从等离子体点火后针对所述加热器的供给电力稳定了的第一稳定状态转变为等离子体熄火的状态之后的针对所述加热器的供给电力增加的状态，所述第二稳定状态为等离子体熄火且针对所述加热器的供给电力稳定了的状态，

使用测量出的所述过渡状态和所述第二稳定状态的供给电力对以来自等离子体的热输入量以及被处理体与所述加热器间的热阻为参数来计算所述过渡状态的供给电力的计算模型进行拟合，来计算所述热输入量和所述热阻，

使用计算出的所述热输入量和所述热阻来计算所述第一稳定状态下的所述被处理体的温度。