[发明专利]体声波谐振器、滤波器、电子设备和调整机电耦合系数的方法

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

基底；

声学镜；

底电极；

顶电极；和

压电层，

其中：

所述顶电极在顶电极连接端和非顶电极连接端均具有抬高部，所述抬高部的顶面高出顶电极的内侧部分的顶面；

所述内侧部分为具有多条边的凸多边形区域，所述抬高部围绕所述凸多边形区域设置而形成多边形的电极框，所述电极框包括多个框边；且

所述电极框的边框在声学镜内存在横向宽度变化，所述横向宽度变化包括所述电极框的至少一条框边在横向方向上处于声学镜内的部分的横向宽度不同于其至少一条其余框边在横向方向上处于声学镜内的部分的横向宽度。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述电极框的框边的多个横向宽度为在谐振器的并联阻抗值随凸起结构的宽度变化的曲线中对应于并联阻抗值的峰值的宽度的组合。

3.根据权利要求1或2所述的谐振器，其中：

所述谐振器包括位于顶电极下方的插入层，所述插入层使得所述抬高部高出顶电极的内侧部分的顶面。

4.根据权利要求3所述的谐振器，其中：

所述插入层设置在顶电极与压电层之间，所述抬高部包括位于顶电极连接端的桥部以及位于非顶电极连接端的悬翼部，所述插入层包括在横向方向上位于声学镜内的插入框，所述插入框与所述电极框在横向方向具有相同的内侧边界和外侧边界。

5.根据权利要求4所述的谐振器，其中：

所述插入层由导电材料形成且在横向方向上在声学镜内填充顶电极与压电层之间在谐振器的厚度方向上的空间。

6.根据权利要求5所述的谐振器，其中：

所述插入层为单层。

7.根据权利要求6所述的谐振器，其中：

所述插入框的框边均为内侧边界和外侧边界为直线的直框边。

8.根据权利要求6所述的谐振器，其中：

所述插入框的至少一个框边的内侧边界和/或外侧边界包括凹凸形状。

9.根据权利要求5所述的谐振器，其中：

所述插入层包括在横向方向上从内侧到外侧依次布置的多个插入子层，所述插入框的框边形成从内侧到外侧高度变大的台阶框边，每一个插入子层形成对应的插入子框。

10.根据权利要求9所述的谐振器，其中：

所述插入框的至少一条框边在声学镜内的横向宽度不同于其至少一条其余框边在声学镜内的横向宽度；和/或

至少一个插入子框的至少一条框边在声学镜内的横向宽度不同于其至少一条其余框边在声学镜内的横向宽度。

11.根据权利要求10所述的谐振器，其中：

所述插入子框的框边均为内侧边界和外侧边界为直线的直框边。

12.根据权利要求10所述的谐振器，其中：

至少一个插入子框的至少一个框边的内侧边界和/或外侧边界包括凹凸形状。

13.根据权利要求4所述的谐振器，其中：

所述插入层由不导电介质形成且在横向方向上在声学镜内填充顶电极与压电层之间在谐振器的厚度方向上的空间，所述不导电介质为固态介质或空气。

14.根据权利要求13所述的谐振器，其中：

所述插入层的框边均为内侧边界和外侧边界为直线的直框边。

15.根据权利要求13所述的谐振器，其中：

所述插入层的至少一个框边的内侧边界和/或外侧边界为凹凸形状。