[发明专利]体声波谐振器、滤波器、电子设备和调整机电耦合系数的方法

说明书

本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，其中：所述顶电极在顶电极连接端和非顶电极连接端均具有抬高部，所述抬高部的顶面高出顶电极的内侧部分的顶面；所述内侧部分为具有多条边的凸多边形区域，所述抬高部围绕所述凸多边形区域设置而形成多边形的电极框，所述电极框包括多个框边；且所述电极框的边框在声学镜内存在横向宽度变化。本发明还涉及一种滤波器，其至少一个谐振器为上述谐振器且机电耦合系数不同于其他谐振器的机电耦合系数。本发明还涉及一种包括上述体声波谐振器或滤波器的电子设备，以及一种调整体声波谐振器的机电耦合系数的方法。

技术领域

本发明的实施例涉及半导体领域，尤其涉及一种体声波谐振器法，一种具有该谐振器的滤波器，一种调整体声波谐振器的机电耦合系数的方法以及一种具有该滤波器或谐振器的电子设备。

背景技术

体声波滤波器具有低插入损耗、高矩形系数、高功率容量等优点，因此，被广泛应用在当代无线通讯系统中，是决定射频信号进出通讯系统质量的重要元器件。

为了提升滤波器有优异的表现，每个谐振器需要具有不同的性能，因此如何对组成体声波滤波器的每一个谐振器的性能进行精确地调控，会是下一步体声波滤波器重点研究的方向。

滤波器由串联和并联两种功能的谐振器组成，对于并联或串联谐振器来说，因为其具有相同的膜层结构和凸起结构，所以相互间的性能差别不大，这对于滤波器性能的提升是不利的。

在同一个衬底上相同频率的机电耦合系数(kt²)往往不可调，通常谐振器频率定了谐振器的机电耦合系数就定了。而目前设计需求，需要用到相同频率或者特定频率差下不同机电耦合系数的谐振器。但实际中需要用到相同频率但机电耦合系数不同的谐振器。因此，现有技术中存在如下需求：在同一基底上设置不同的谐振器，例如两个谐振器，例如其在同一基底上，可以具有相同的频率，同时具有不同的机电耦合系数。

发明内容

为解决现有技术中的上述技术问题的至少一个方面，本发明提出一种新的结构方案来提升体声波谐振器的机电耦合系数的自由度，从而可以进一步提升滤波器的性能。

根据本发明的实施例的一个方面，提出了一种体声波谐振器，包括：

基底；

声学镜；

底电极；

顶电极；和

压电层，

其中：

所述顶电极在顶电极连接端和非顶电极连接端均具有抬高部，所述抬高部的顶面高出顶电极的内侧部分的顶面；

所述内侧部分为具有多条边的凸多边形区域，所述抬高部围绕所述凸多边形区域设置而形成多边形的电极框，所述电极框包括多个框边；且

所述电极框的框边在声学镜内存在横向宽度变化。

本发明的实施例还涉及一种调整上述体声波谐振器的机电耦合系数的方法，包括步骤：通过调整所述电极框的框边在声学镜内在横向方向上的宽度，调节所述机电耦合系数。可选的，所述方法还包括步骤：选择调整了宽度的框边的数量与所述电极框的框边总数量的比值，以调节所述机电耦合系数。

本发明的实施例也涉及一种滤波器，包括：

串联支路，包括多个串联谐振器；

多个并联支路，每个并联支路包括并联谐振器，

其中：

所述并联谐振器和所述多个串联谐振器中的至少一个谐振器的机电耦合系数不同于其他谐振器的机电耦合系数，所述至少一个谐振器为上述的体声波谐振器。