[发明专利]边缘抛光装置及抛光吸盘垫清洗方法

权利要求书

1.一种边缘抛光装置，其特征在于，包括抛光吸盘、安装于所述抛光吸盘上的抛光吸盘垫、用于将已抛光的晶圆从所述抛光吸盘垫上移除的机械臂以及用于在对晶圆抛光后对所述抛光吸盘垫进行清洗的清洗装置，所述清洗装置包括：

清洗单元，用于清洗所述抛光吸盘垫，所述清洗单元包括喷嘴和清洗刷，所述喷嘴固定于所述清洗刷上，以对所述抛光吸盘垫进行冲洗和刷洗；以及，

移动单元，与所述清洗单元固定连接，所述移动单元用于带动所述清洗单元移动到所述抛光吸盘垫上的不同位置。

2.如权利要求1所述的边缘抛光装置，其特征在于，所述清洗单元与所述移动单元之间通过一中空的管路固定连接，所述管路与所述喷嘴连通，以向所述抛光吸盘垫喷射清洗液。

3.如权利要求1所述的边缘抛光装置，其特征在于，所述清洗刷包括一刷毛座和多组刷毛，所述刷毛的一端和所述喷嘴的一端均固定于所述刷毛座上，所述刷毛座固定连接于所述移动单元上。

4.如权利要求1所述的边缘抛光装置，其特征在于，所述移动单元包括垂向移动模块和水平向移动模块，所述垂向移动模块用于在垂直于所述抛光吸盘垫的方向上移动所述清洗单元，所述水平向移动模块用于在平行于所述抛光吸盘垫的方向上移动所述清洗单元。

5.如权利要求1所述的边缘抛光装置，其特征在于，所述移动单元包括驱动模块，用于驱动所述移动单元带动所述清洗单元。

6.如权利要求1所述的边缘抛光装置，其特征在于，所述清洗刷的下端在距离所述抛光吸盘垫的顶表面-2cm～15cm之间移动。

7.如权利要求1所述的边缘抛光装置，其特征在于，所述喷嘴向所述抛光吸盘垫喷射的清洗液的压强为1MPa～5MPa。

8.一种抛光吸盘垫清洗方法，用于在对晶圆边缘抛光后清洗去除所述晶圆下方的抛光吸盘垫中的抛光液，其特征在于，包括：

冲洗步骤，采用一移动单元将一清洗单元从初始位置移动到所述抛光吸盘垫的上方并在所述抛光吸盘垫的上方不断移动，同时通过所述清洗单元上的喷嘴向所述抛光吸盘垫上喷射清洗液，以对所述抛光吸盘垫进行冲洗；

刷洗步骤，停止向所述抛光吸盘垫上喷射清洗液，采用所述移动单元将所述清洗单元向下移动，以使得所述清洗单元上的清洗刷接触所述抛光吸盘垫，且所述清洗单元在所述抛光吸盘垫上不断移动，以对所述抛光吸盘垫进行刷洗。

9.如权利要求8所述的抛光吸盘垫清洗方法，其特征在于，在所述冲洗步骤和所述刷洗步骤中，所述抛光吸盘垫处于旋转状态；和/或，所述清洗单元的清洗刷处于旋转状态。

10.如权利要求8所述的抛光吸盘垫清洗方法，其特征在于，多次循环重复所述冲洗步骤和所述刷洗步骤，以使得所述抛光吸盘垫中的抛光液被去除完全；在所述抛光吸盘垫中的抛光液被去除完全之后，通过所述移动单元将所述清洗单元移动到所述初始位置。