[发明专利]一种触摸显示面板及其制造方法有效
申请号: | 202010386264.0 | 申请日: | 2020-05-09 |
公开(公告)号: | CN111540713B | 公开(公告)日: | 2022-07-26 |
发明(设计)人: | 孙德瑞 | 申请(专利权)人: | 青岛三顺智能电器有限公司 |
主分类号: | H01L21/84 | 分类号: | H01L21/84;H01L27/32;H01L23/64;H01L27/12;G06F3/044 |
代理公司: | 深圳泛航知识产权代理事务所(普通合伙) 44867 | 代理人: | 邓爱军 |
地址: | 266400 山东省青岛市黄*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 触摸 显示 面板 及其 制造 方法 | ||
本发明提供了一种触摸显示面板及其制造方法,其在像素限定层或者像素限定层和平坦层中形成环绕像素单元的垂直型电容器,可以增加电容值的同时,防止像素限定层和平坦层中的水汽进入像素单元以及各层金属互连层;触控压力通过挡墙结构传递,使得电容值改变,实现触摸操作,且所述挡墙结构还可以防止有机发光层在喷墨打印形成时的串色问题。
技术领域
本发明涉及触摸显示面板技术领域,具体涉及一种触摸显示面板及其制造方法。
背景技术
随着有机发光二极管(Organic Light-emitting Diode,OLED)面板因其广色域、高对比度、大视角、反应速率快、轻薄等优势,在手机、手表、Pad等应用领域越来越广泛。
触摸显示面板是集成了显示模块和触摸模块的显示面板结构,其中的电容式触摸屏,需要在显示屏中设置电容结构以用于响应触摸操作,而现有的电容结构多为纵向排列的上下电极板,其设置于像素单元之间,无法提高该电容的电容值,触摸不够灵敏,且像素限定层的水汽也容易侵蚀像素单元。
发明内容
基于解决上述问题,本发明提供了一种触摸显示面板的制造方法,其包括以下步骤:
(1)在衬底上形成薄膜晶体管;
(2)形成覆盖所述薄膜晶体管的平坦层;
(3)在所述平坦层上形成像素限定层;
(4)在所述像素限定层中形成多个环形电容结构,所述环形电容结构包括环形相对的第一电容电极和第二电容电极;
(5)在所述第一电容电极和第二电容电极之间形成挡墙结构,挡墙结构的一部分嵌入在所述像素限定层中;
(6)在所述像素限定层中形成多个像素定义孔,并在所述多个像素定义孔中形成多个像素单元,其中所述多个环形电容结构分别环绕所述多个像素单元。
其中,所述挡墙结构的另一部分突出于所述像素限定层的上表面。
其中,所述像素单元依次包括在所述平坦层上表面上的底电极、在所述像素定义孔中的有机发光层以及覆盖所述有机发光层的顶电极。
其中,所述第一电容电极和第二电容电极均垂直于所述像素限定层的上表面,且完全嵌入在所述像素限定层中。
其中,在所述平坦层上制备所述底电极的同时,形成分别连接所述第一电容电极和第二电容电极的第一引出线和第二引出线。
其中,所述第一电容电极和第二电容电极均垂直于所述像素限定层的上表面,且经由所述像素限定层延伸至所述平坦层中,所述挡墙结构至少延伸至所述像素限定层。
其中,在形成所述薄膜晶体管的源漏电极层的同时,形成分别连接所述第一电容电极和第二电容电极的第一引出线和第二引出线。
其中,所述挡墙结构具有一缺口,所述顶电极的互连层通过所述缺口。
其中,所述挡墙结构为无机氧化物、聚合物材料或其他刚性材料。
本发明根据上述制造方法,还提供了一种触摸显示面板。
本发明在像素限定层或者像素限定层和平坦层中形成环绕像素单元的垂直型电容器,可以增加电容值的同时,防止像素限定层和平坦层中的水汽进入像素单元以及各层金属互连层;触控压力通过挡墙结构传递,使得电容值改变,实现触摸操作,且所述挡墙结构还可以防止有机发光层在喷墨打印形成时的串色问题。
附图说明
图1为第一实施例的触摸显示面板的剖面图;
图2为第一实施例的触摸显示面板的俯视图;
图3-8为第一实施例的触摸显示面板的制造方法的示意图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造