[发明专利]一种显影液循环再生利用系统及其过滤再生方法在审
申请号: | 202010387088.2 | 申请日: | 2020-05-09 |
公开(公告)号: | CN111533218A | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 陈志宇;刘柯;乔鹏程 | 申请(专利权)人: | 广东通元精密电路有限公司;通元科技(惠州)有限公司 |
主分类号: | C02F1/44 | 分类号: | C02F1/44;G03F7/30 |
代理公司: | 深圳众鼎汇成知识产权代理有限公司 44566 | 代理人: | 张宏杰 |
地址: | 516000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显影液 循环 再生 利用 系统 及其 过滤 方法 | ||
1.一种显影液循环再生利用系统,其特征在于,所述显影液循环再生利用系统包括:
用于实现对回收液进行收集的阻焊显影液回收系统;
与所述阻焊显影液回收系统相连通,用于对药水进行过滤的反渗透过滤系统;
与所述反渗透过滤系统相连通,用于实现对药水进行再生的再生系统;
与所述再生系统和过滤系统相连通,用于实现对槽体进行清洗的清洗系统;
与所述再生系统相连通,用于实现药液添加的添加系统。
2.如权利要求1所述的显影液循环再生利用系统,其特征在于,所述阻焊显影液回收系统设置有显影槽,所述显影槽的出料口通过管道连通回收站中央收集池;
所述回收站中央收集池连通暂存槽,所述暂存槽内安装有高低液位控制装置。
3.如权利要求2所述的显影液循环再生利用系统,其特征在于,所述管道上安装有扬程泵,所述扬程泵连接PCL控制器。
4.如权利要求1所述的显影液循环再生利用系统,其特征在于,所述反渗透过滤系统的出料口通过管道与再生槽进料口相连,所述再生槽出料口通过管道与加料槽进料口相连,所述加料槽出料口通过管道与设备自动添加缸进料口相连,所述自动添加缸出料口通过管道与显影槽进料口相连。
5.如权利要求1所述的显影液循环再生利用系统,其特征在于,所述再生系统包括与过滤系统相连通的出料口,所述出料口通过管道与再生槽的进料口连接,所述再生系统还包括浓缩槽及与浓缩槽相连通的出料口,所述出料口通过管道和扬程泵与再生槽的第二个进料口连接,所述再生槽的出料口通过管道与高压泵连接进入加料槽,所述再生槽通过第二个出料口通过管道与清洗槽入料口连接。
6.如权利要求1所述的显影液循环再生利用系统,其特征在于,所述清洗系统包括与再生槽相连通的第二个出料口,所述第二个出料口通过管道与清洗槽的进料口连接,所述清洗槽的出料口通过管道与高压泵连接进入反渗透过滤系统,所述反渗透过滤系统通过第二个出料口通过管道与暂存槽第二个入料口连接进行二次过滤,所述暂存槽第二个出料口通过管道与废水站管道相连通。
7.如权利要求1所述的显影液循环再生利用系统,其特征在于,所述清洗系统添加系统在线PH控制器,所述在线PH控制器与再生槽第二个进料口通过管道连接,PH控制器与扬程泵通过管道连接,所述管道与浓缩槽进料口相连,所述浓缩槽出料口通过管道与加料口相连。
8.一种利用权利要求1-7任意一项所述的显影液循环再生利用系统的过滤再生方法,其特征在于,该显影液过滤再生方法包括:
将回收废液收集后送到过滤系统过滤,去除杂质和污物;
过滤后回收液再送至再生槽,与浓缩原液按比列混合;
搅拌均匀调配成再生液,再生液PH值要求12.5,碳酸根离子浓度按1.2%。
9.如权利要求8所述显影液过滤再生方法,其特征在于,所述清洗方法包括利用过滤后的药水对清洗槽进行清洗,清洗完的显影液再返回暂存槽进行二次过滤,暂存槽清洗可以打开管道清洗后排入废水站。
10.如权利要求9所述显影液过滤再生方法,其特征在于,所述添加方法包括再生槽加装PH控制探头以及自动添加装置,按PH值补加显影浓缩液,PH值控制器可设定12.5,分析化验要求补加水,碳酸根离子浓度按1.2%补加完成,补加完成后再生槽出口通过管道连接高压泵,进入加料槽进料口,加料槽设置高液位、低液位,通过管道进入车间的自动添加缸入料口,自动添加缸出料口通过管道连接PH控制器,通过管道连接显影槽入料口。
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