[发明专利]具有冗余电连接器的互连结构及相关系统与方法在审

专利信息
申请号: 202010389901.X 申请日: 2015-05-22
公开(公告)号: CN111710660A 公开(公告)日: 2020-09-25
发明(设计)人: 安尼库玛·查杜鲁 申请(专利权)人: 美光科技公司
主分类号: H01L25/065 分类号: H01L25/065;H01L23/48;H01L21/60
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 王龙
地址: 美国爱*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 具有 冗余 连接器 互连 结构 相关 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体裸片组合件,其包括:

第一半导体裸片,其包括电介质材料,所述电介质材料位于所述第一半导体裸片的上方;

第二半导体裸片;及

互连结构,其将所述第一半导体裸片耦合到所述第二半导体裸片,其中所述互连结构介于所述第一半导体裸片与所述第二半导体裸片之间,且其中所述互连结构包含-

第一导电膜,其耦合到所述第一半导体裸片,

第二导电膜,其耦合到所述第二半导体裸片,及

多个冗余电连接器,其在所述第一导电膜与所述第二导电膜之间延伸且经由所述第一导电膜而彼此电耦合,

其中所述冗余电连接器的每一者包括连续的导电柱,所述导电柱直接连接至所述第一导电膜且通过所述电介质材料的一部分延伸至与所述电介质材料的所述一部分隔开的位置。

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